Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Semicorex MOCVD Susceptor с TaC покритие е авангарден компонент, щателно изработен за оптимална производителност в процесите на епитаксия на полупроводници в MOCVD системите. Semicorex е непоколебима в нашия ангажимент да доставяме превъзходни продукти на изключително конкурентни цени. Ние сме нетърпеливи да установим трайно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПръстенът с покритие Semicorex CVD TaC царува като критичен компонент в обработката на полупроводници, символизирайки зенита на съвременното инженерство на материали. Създаден за прилагане в най-строгите среди, където прецизността и надеждността са на първо място, този пръстен олицетворява сливането на авангардни техники за нанасяне на покритие с науката за устойчивите материали. Semicorex упорито доставя продукти от първо ниво на конкурентни цени и ние с нетърпение очакваме да изградим дългогодишно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеPlanetary Susceptor с покритие Semicorex TaC е високоспециализиран компонент, предназначен за използване в епитаксиалните процеси при производството на полупроводници. Semicorex е посветен на предоставянето на продукти с най-високо качество на конкурентни цени. Ние сме нетърпеливи да установим дългосрочно партньорство с вас в Китай.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring е усъвършенстван компонент, специално проектиран за полупроводниковата индустрия, играещ решаваща роля в растежа на кристалите от силициев карбид (SiC). Този продукт е проектиран да отговаря на строгите изисквания на среда с висока температура и висок стрес, присъщи на процесите на растеж на полупроводникови кристали. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coating Graphite Crucible е специализиран компонент, предназначен за използване в полупроводниковата индустрия, особено при растежа на кристали от силициев карбид (SiC). Този високоефективен тигел се откроява благодарение на уникалния си материален състав и структурен дизайн, което го прави незаменим инструмент в напредналите процеси на растеж на кристали. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Crucible е ключов компонент в полупроводниковата индустрия, специално проектиран за растеж на кристали от силициев карбид (SiC). Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитване