Капаците на камерите се използват за създаване на чиста, инертна и защитена среда в камерите за отлагане, така че те са изложени на плазма и висока температура по време на процеси на отлагане или ецване. Капаците на камерата Semicorex са издръжливи керамични компоненти, покрити със силициев карбид чрез метод на химическо отлагане на пари (CVD), страхотни, за да издържат на тези предизвикателни среди.