Капаците на камерите се използват за създаване на чиста, инертна и защитена среда в камерите за отлагане, така че те са изложени на плазма и висока температура по време на процеси на отлагане или ецване. Капаците на камерата Semicorex са издръжливи керамични компоненти, покрити със силициев карбид чрез метод на химическо отлагане на пари (CVD), страхотни, за да издържат на тези предизвикателни среди.
Semicorex SIC LID е компонент на силициев карбид с висока чистота, проектиран за екстремни среди за обработка на полупроводници. Изборът на Semicorex означава да се гарантира несравнено качество на материала, прецизно инженерство и персонализирани решения, доверени от водещи производители на полупроводници по целия свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитване