Semicorex RTP носач е с покритие от силициев карбид, използвайки процеса на химическо отлагане на пари (CVD), който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. В основата на полупроводниковия процес, епитаксиалните фиксатори, първо се подлагат на околната среда на отлагане, така че има висока устойчивост на топлина и корозия. Носителят с покритие от SiC също има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
● Графит с покритие от SiC с висока чистота
● Превъзходна устойчивост на топлина и химическа устойчивост
● Висока топлинна равномерност
● Отлична устойчивост на износване
Графитните плочи с покритие Semicorex SiC са носители с висока чистота, специално проектирани за строгите изисквания на SiC и GaN епитаксия, използващи плътно CVD покритие от силициев карбид върху изостатичен графитен субстрат, за да осигурят стабилна, химически инертна термична бариера за обработка на пластини с висок добив. Semicorex доставя квалифицирани продукти и услуги за глобални клиенти.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP SIC покривни плочи са високоефективни носители на вафли, проектирани за използване в взискателни среди за бърза термична обработка. Доверен от водещи производители на полупроводници, Semicorex осигурява превъзходна топлинна стабилност, издръжливост и контрол на замърсяването, подкрепено от строги стандарти за качество и прецизно производство.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP Ring е графитен пръстен с SiC покритие, предназначен за високопроизводителни приложения в системи за бърза термична обработка (RTP). Изберете Semicorex за нашата усъвършенствана материална технология, гарантираща превъзходна издръжливост, прецизност и надеждност при производството на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеRTP Graphite Carrier Plate на Semicorex е идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини, включително епитаксиално израстване и обработка на обработка на пластини. Нашият продукт е проектиран да предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност, като гарантира, че епитаксиалните фиксатори са подложени на околната среда на отлагане с висока устойчивост на топлина и корозия.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP SiC Coating Carrier предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своя висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства на разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier е проектиран да издържа на най-трудните условия на средата на отлагане. Със своята висока устойчивост на топлина и корозия, този продукт е проектиран да осигури оптимална производителност за епитаксиален растеж. Носачът с покритие от SiC има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, осигуряващи надеждна работа за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитване