Semicorex RTP носач е с покритие от силициев карбид, използвайки процеса на химическо отлагане на пари (CVD), който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване. В основата на полупроводниковия процес, епитаксиалните фиксатори, първо се подлагат на околната среда на отлагане, така че има висока устойчивост на топлина и корозия. Носителят с покритие от SiC също има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
● Графит с покритие от SiC с висока чистота
● Превъзходна устойчивост на топлина и химическа устойчивост
● Висока топлинна равномерност
● Отлична устойчивост на износване