Китай Душ глава Производители, доставчици, фабрика

SiC (силициев карбид) душ глава е специализиран компонент, използван в различни индустриални процеси, особено в производството на полупроводници. Той е проектиран да разпределя и доставя технологични газове равномерно и прецизно по време на процеси на химическо отлагане на пари (CVD) и процеси на епитаксиален растеж.

Душът е оформен като диск или плоча с множество равномерно разпределени дупки или дюзи на повърхността. Тези отвори служат като изходи за технологичните газове, позволявайки им да бъдат инжектирани в технологичната камера или реакционната камера. Размерът, формата и разпределението на отворите могат да варират в зависимост от конкретното приложение и изискванията на процеса.

Едно от ключовите предимства на използването на SiC душ глава е нейната отлична топлопроводимост. Това свойство позволява ефективен топлопренос и равномерно разпределение на температурата по повърхността на душа, предотвратявайки горещи точки и осигурявайки постоянни условия на процеса. Подобрената топлопроводимост също така позволява бързо охлаждане на душовата глава след процеса, минимизиране на времето за престой и повишаване на общата производителност.

SiC душовете са много издръжливи и устойчиви на износване, дори при продължително излагане на корозивни газове и високи температури. Тази дълготрайност се превръща в удължени интервали на поддръжка и намалено време на престой на оборудването, което води до спестяване на разходи и подобрена надеждност на процеса.

В допълнение към своята здравина, SiC душовете предлагат отлични възможности за разпределение на газ. Прецизно проектираните модели и конфигурации на отворите осигуряват равномерен газов поток и разпределение по повърхността на субстрата, насърчавайки последователно отлагане на филм и подобрена производителност на устройството. Равномерното разпределение на газа също помага за минимизиране на вариациите в дебелината на филма, състава и други критични параметри, допринасяйки за подобрен контрол на процеса и добив.

Semicorex предлага полупроводникова глава за душ от синтерован силициев карбид с ниско съпротивление.  Имаме способността да проектираме по поръчка и да доставяме усъвършенствани керамични материали, използвайки различни уникални възможности.