Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
|
проекти |
Параметри |
|
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
|
Коефициент на излъчване |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Твърдост (HK) |
2000 |
|
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
|
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
|
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
|
|
Горните са типични стойности |
|
Пръстените от порест танталов карбид Semicorex са високоефективни огнеупорни компоненти, специално проектирани за процеса на физически изпарителен транспорт (PVT) за растеж на кристали от силициев карбид (SiC), включващи монолитна синтерована структура, която предлага изключителна термична стабилност и контролирана газопропускливост.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC-покрити графитни вафли са авангардни компоненти, обикновено използвани за стабилна поддръжка и позициониране на полупроводниковите пластини по време на усъвършенстваните епитаксиални процеси на полупроводници. Възползвайки се от най-съвременните производствени технологии и зрелия производствен опит, Semicorex се ангажира да доставя специално проектирани графитни пластини с покритие от TaC с водещо на пазара качество за нашите уважаеми клиенти.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex CVD TaC Coated Susceptors са високопроизводителни графитни фиксатори с плътно TaC покритие, проектирани да осигурят отлична топлинна еднородност и устойчивост на корозия за взискателни процеси на епитаксиален растеж на SiC. Semicorex съчетава усъвършенствана технология за CVD покритие със строг контрол на качеството, за да осигури дълготрайни, слабо замърсяващи сенцептори, на които се доверяват световните производители на SiC epi.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеВодещите пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex са високоефективните компоненти на пръстена, използвани в оборудването за растеж на полупроводникови кристали. Те са специално проектирани да създават подходящ температурен градиент и стабилна среда на въздушния поток по време на растежа на кристалите. Избирайки направляващи пръстени с покритие от танталов карбид Semicorex, ще се възползвате от несравнима технология за покритие и високоефективно и стабилно производствено изживяване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Graphite Crucible е направен от графит с покритие от танталов карбид чрез CVD метод, който е най-подходящият материал, прилаган в процеса на производство на полупроводници. Semicorex е компания, която постоянно се специализира в CVD керамични покрития и предлага най-добрите материални решения в полупроводниковата индустрия.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеКомпонентите с покритие от Semicorex TaC в епитаксиален растеж са ценна машинно обработена част, разположена във входящия въздух в епитаксиалния процес в полупроводника. Semicorex е първокласна компания, която е специализирана в технологията за CVD TaC покритие в Китай и изнася продукти в цял свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитване