Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Патронник Semicorex Tantalum Carbide е усъвършенстван компонент, използван в оборудването за производство на полупроводници, известен със своите изключителни термични и механични свойства. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Ring е критичен компонент, който отговаря на тези взискателни изисквания. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеДуш глава с покритие Semicorex TaC е неразделна част от процеса на химическо отлагане на пари, осигурявайки несравнима производителност и дълготрайност. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронникът с покритие Semicorex TaC представлява значителен напредък в областта на производството на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Porous Graphite с TaC покритие е специализиран материал, предназначен да отговори на критичните предизвикателства при растежа на кристали от силициев карбид (SiC). Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coated Porous Graphite е най-новата иновация в технологията за растеж на кристали от силициев карбид (SiC). Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитване