Крайният ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите. Крайният ефектор трябва да бъде с прецизни размери и термично стабилен, като същевременно има гладка повърхност, устойчива на абразия, за да боравите безопасно с вафли, без да повреждате устройствата или да създавате замърсяване с частици.
Компонентите на покритието от силициев карбид (SiC) с висока чистота на Semicorex осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост.