Керамична ръка на алуминиев оксид

Семикорекс алуминиев керамичен рамо е проектиран компонент, който е разработен до най -високите спецификации за полупроводникови приложения. Изработен от алуминиев оксид с висока чист (Al₂o₃), това е роботизирана ръка, която разполага с уникална комбинация от механична якост, термична стабилност и химическа устойчивост. Ръката е не само проектирана така, че да се използва само за боравене с вафли, но и трябва да осигури поддръжка на процеси в усъвършенствани сайтове за производство. Той също така трябва да гарантира, че вафлите се прехвърлят, позиционират и обработват без замърсяване или повреда; подобряване на добивите и надеждността на процеса.

Алуминиев оксиде една от техническата керамика, която намира най -широката употреба в областта на техническата керамика. Алуминий е известен със своята твърдост, устойчивост на износване и стабилност в агресивна среда. За целите на керамичното рамо да управлява обработката на вафли, без да въвежда замърсяване, може да използва свойствата на алуминиев оксид и да осигури много по -високо ниво на устойчивост на абразия вследствие на високата му чистота и размер на частиците; Следователно, тя няма да генерира прекомерни частици по време на повтарящите се движения, или с вафли, или с полупроводникови субстрати от друг вид.  Плътността и ниската порьозност, която също така е домакин на допълнително ограничаване на потенциала на освобождаването на частиците и гарантира, че отговаря на ултра-чистите изисквания на FABs за разработване на полупроводници, без да се влошава чистотата, необходима за обработката на устройството на субмикрон.

Алуминиев оксидпритежава изключителна термична стабилност в допълнение към механичната си якост. Керамичната ръка на алуминиевата алуминиева ръка може да издържи екстремни температури на процеса, без да изкривява, напуква или губи сила. Това свойство го прави идеален за включване във всяка стъпка на процеса, която включва излагане на повишени температури, като дифузия, окисляване или отгряща стъпки. Вафрите ще имат подобрена надеждност за трансфер в предизвикателна обработка, тъй като запазва механичната цялост при термичното колоездене.

Химическата резистентност е друг основен положителен положителен език на керамичната ръка на алуминиевата алуминиева рама. При производството на полупроводници лечението често се извършва върху вафли, които включват силни киселини, алкали и други агресивни химикали. Докато металните компоненти могат да корозират или да извличат примеси, алуминиев оксид е химически инертен, който защитава целостта както на ръката, така и на вафрите, с които се справя. Следователно инертността удължава живота на компонента, като същевременно намалява възможността за замърсяване по време на критични стъпки на процеса като мокро почистване или отлагане на химически пари.

Керамичната рама на алуминиевата алуминиева е проектирана с акцент върху съвместимостта и прецизността. Всяко рамо е направено до тесни размерени допустими отклонения, като гарантира точно подравняване и движение на вафли и съвместимост с автоматизирано оборудване за обработка на вафли и роботизирани системи. Гладкото, полирано повърхностно покритие разполага с интерфейс с ниско триене с вафлата, който намалява вероятността от надраскване на вафлата, което е от съществено значение за целостта на вафлата/чистотата на околната среда и намаляването на скоростта на дефекти. Тези инженерни отклонения гарантират, че ръката работи свободно в бърза среда с висока пропускателна способност и позволява както човешки, така и напълно автоматизирани полупроводникови работни потоци за ръката.

Керамичната рама на алуминиевата алуминиева рама достига отвъд само химичните и механичните характеристики и въздейства върху оперативната ефективност и икономията на разходи на множество нива. Доказаният траен характер на керамиката позволява на ръката да превъзхожда композитните материали като пластмаси или алуминий по отношение на дълголетието на дизайна при повтарящо се механично натоварване и следователно намалява количеството на оперативното престой и/или заместващите разходи. Възможността за издържане на сурова среда включва чистота на околната среда, като същевременно произвежда по -малко прекъсвания в производството, водещи до подобрено последователно производство на вафли, т.е. добив и в крайна сметка по -малко скрап, водещи до по -висока възвръщаемост на инвестициите (възвръщаемост на инвестицията) за производителите на полупроводници.

Опциите за използване наАлуминиев керамикаARM за полупроводникови процеси са практически безкрайни - от движещи се вафли между мокри пейки, дифузионни пещи и камери за отлагане до инспектиране и метрологични инструменти, използвайки субстрати. Универсалността на този продукт не само позволява да се използва за приложения за обработка на вафли, но и по -нататъшни ситуации на автоматизация, при които е необходима точност, чистота и надеждност, също са осъществими. Полупроводниковата индустрия се движи неумолимо към по-малки възли и повишена сложност в производството на устройства и тъй като индустрията продължава да изисква по-добри решения за обработка, които са надеждни и незамърсяващи, керамичната роботизирана ръка създава ясен път напред.