Sic пръсти

Semicorex sic пръсти са специализирани части, чиито основни приложения са в оборудване за полупроводници за обработка, по -специално в системите за обработка и поддръжка на вафли. Основната им функция е да поддържат или задържат вафли на място по време на процеси като епитаксия, йонна имплантация или термична обработка, при която стабилността на размерите или чистотата, заедно с надеждността, е от решаващо значение. Силициевият карбид съчетава механичната якост с отлична топлинна и химическа устойчивост и тези характеристики са необходими при усъвършенствани линии за производство на полупроводници, така че SIC пръстите са незаменими в такива приложения.

Функцията за продажба насилициев карбидКато материал е способността да издържа на изключително високи работни температури, без да губи механичната си цялост. При полупроводникови процеси като епитаксиален растеж, вафли изпитват повишени температури внезапно и над продължителни периоди. Веднъж ангажирани пръстите на SIC ще поддържат своето подравняване и здравина през циклите с висока температура, така че вафрите да останат на мястото си, като сведат до минимум движението, за да се избегне деформация или несъответствие, за да поддържат адекватна равномерност на процеса, за да се постигне приемлива добив на устройството. SIC пръстите осигуряват много по-дълго обслужване от типичните керамични или метални опори, като същевременно са много по-последователни при високотемпературни натоварвания.

Основно предимство на SIC пръстите е тяхната превъзходна химическа устойчивост. Всички полупроводникови приложения включват реактивни газове, излагане на плазми и излагане на корозивни химикали. Коражируемият или разпаден материал реагира чрез освобождаване на частици или замърсители, които могат да разграждат качеството на вафли.Силициев карбидима химически инертна повърхност, която няма да се прикрепи или реагира на агресивни химикали, произвеждайки чиста процесна среда и значително намален риск от замърсяване. Това допринася за издръжливостта на инструмента за обработка на вафли, като директно допринася за стабилни и повтарящи се резултати от процеса, което е от решаващо значение за производството на полупроводникови устройства с висок добив.

Прецизността е друго ключово съображение при дизайна на SIC пръста. Работата с вафли води до компоненти с изключително тесни допустими отклонения, микрометри могат да причинят несъответствие на вафли, да увеличат потенциала за нарушаване на вафлата или да причинят несъответствия в процесите. Чрез използването на най -новата технология за обработка и полиране, SIC пръстите могат да бъдат произведени с най -високите размерени отклонения и повърхностната плоска и гладкото покритие. Това гарантира стабилна, сравнително инерционна платформа за поддръжка на вафли с намален потенциал за образуване на частици и многократна работа на приложения за обработка на вафли в автоматично оборудване за обработка на полупроводници.

В допълнение към предимствата на основния материал на пръстите на SIC, те могат да бъдат направени и специфични, за да отговарят на всяко оборудване или изискване за процес. Различните размери на вафли, различни дизайни на реактори и различни обработки на оператора изискват специфични произведени решения. SIC пръстите могат да бъдат направени във всяка геометрия или измерение, а повърхностната обработка може да се прилага като подходящо за специфични приложения.

SIC пръстите също намаляват експлоатационните разходи, поради дългия им използваем живот (понижаване на честотата на подмяна) и намалените им преходи поради отказ или замърсяване на отлагането от термичен или химичен стрес. Както с издръжливостта, така и с надеждността за производителите на полупроводници, използването на SIC пръсти води до увеличаване на времето за работа, по -ниски разходи за консумативи и обща подобрена ефективност на процеса.

На практика SIC пръстите се използват най -вече в реакторите за растеж на епитаксията, тъй като осигуряват стабилно задържане на вафли по време на екстремни термични и химични процеси. Те също се използват в йонни импланти или високотемпературни отгрявания, където механичната стабилност, както и химическата инертност са от решаващо значение. В рамките на приложенията последователната ефективност също прави тяхното използване при обработката на вафли от критично значение за осигуряване на равномерност на процеса, цялост на вафли и качество.

Semicorex sic пръсти, са силни примери за предимствата наМатериал на силициев карбид За висока температура, химически устойчиви, прецизно инженерни компоненти на полупроводникови компоненти. Материалната среда на SIC пръстите осигурява стабилност с висока температура, изключителна химическа устойчивост и способност за производство до високи стандарти за прецизност. Здравият и адаптивен компонент е от решаващо значение за постигането на стабилно производство и подобрена ефективност на добив и разход за производителите на полупроводници. SIC пръстите продължават да бъдат усъвършенствано и надеждно решение за FABS, фокусирани върху стабилността на процеса и осигуряването на качество.