Тънка част от полупроводников материал се нарича пластина, която е съставена от много чист монокристален материал. В процеса на Чохралски, цилиндричен слитък от високочист монокристален полупроводник се прави чрез изтегляне на зародишен кристал от стопилка.
Силициевият карбид (SiC) и неговите политипове са били част от човешката цивилизация от дълго време; техническият интерес на това твърдо и стабилно съединение е реализиран през 1885 и 1892 г. от Cowless и Acheson за целите на смилане и рязане, което води до неговото производство в голям мащаб.
Отличните физични и химични свойства правят силициевия карбид (SiC) важен кандидат за различни приложения, включително високотемпературни, мощни и високочестотни и оптоелектронни устройства, структурен компонент в термоядрени реактори, облицовъчен материал за газово охлаждане реактори на делене и инертна матрица за трансмутация на Pu. Различни политипове SiC като 3C, 6H и 4H са широко използвани. Йонната имплантация е критична техника за селективно въвеждане на добавки за производството на базирани на Si устройства, за производство на p-тип и n-тип SiC пластини.
Слитъкътслед това се нарязва, за да се образуват пластини от силициев карбид SiC.
Свойства на материала силициев карбид
Политип |
Монокристален 4H |
Кристална структура |
Шестоъгълна |
Bandgap |
3,23 eV |
Топлопроводимост (n-тип; 0,020 ohm-cm) |
a~4,2 W/cm • K при 298 K c~3,7 W/cm • K при 298 K |
Топлопроводимост (HPSI) |
a~4,9 W/cm • K при 298 K c~3,9 W/cm • K при 298 K |
Параметри на решетката |
а=3,076 Å с=10,053 Å |
Твърдост по Моос |
~9.2 |
Плътност |
3,21 g/cm3 |
Терм. Коефициент на разширение |
4-5 х 10-6/К |
Различни видове SiC пластини
Има три вида:n-тип sic вафла, p-тип sic пластинаиполуизолационна sic пластина с висока чистота. Допингът се отнася до имплантиране на йони, което въвежда примеси в силициев кристал. Тези добавки позволяват на атомите на кристала да образуват йонни връзки, което прави някога присъщия кристал външен. Този процес въвежда два вида примеси; N-тип и P-тип. „Типът“, в който става, зависи от материалите, използвани за създаване на химическата реакция. Разликата между N-тип и P-тип SiC пластина е основният материал, използван за създаване на химическа реакция по време на допинг. В зависимост от използвания материал, външната орбитала ще има пет или три електрона, което прави един отрицателно зареден (N-тип) и един положително зареден (P-тип).
N-тип SiC пластини се използват главно в нови енергийни превозни средства, високоволтови предавания и подстанции, бяла техника, високоскоростни влакове, двигатели, фотоволтаични инвертори, импулсни захранвания и др. Те имат предимствата да намаляват енергийните загуби на оборудването, да подобряват надеждност на оборудването, намаляване на размера на оборудването и подобряване на производителността на оборудването и имат незаменими предимства при производството на силови електронни устройства.
Полуизолационната SiC пластина с висока чистота се използва главно като субстрат на радиочестотни устройства с висока мощност.
Епитаксия - III-V нитридно отлагане
SiC, GaN, AlxGa1-xN и InyGa1-yN епитаксиални слоеве върху SiC субстрат или сапфирен субстрат.
Semicorex SiC Dummy Wafer е специализиран инструмент в производството на полупроводници, предназначен основно за експериментални и тестови цели.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex 3C-SiC вафлен субстрат е направен от SiC с кубичен кристал. Ние сме производител и доставчик на полупроводникови пластини от много години. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя различни видове 4H и 6H SiC пластини. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашата 8-инчова N-тип SiC вафла има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex осигурява N-тип SiC слитък с 4 инча, 6 инча и 8 инча. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашият 4" 6" 8" N-тип SiC слитък има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex осигурява полуизолационен SiC слитък с висока чистота с 4 инча и 6 инча. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашият 4" 6" полуизолационен SiC слитък с висока чистота има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex предоставя различни видове 4H и 6H SiC пластини. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашата P-тип SiC субстратна пластина има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване