Графитна централна плоча Semicorex или MOCVD ток е силициев карбид с висока чистота, покрит чрез метод на химическо отлагане на пари (CVD), използван в процеса за отглеждане на епитаксиалния слой върху чипа на вафлата. Токоприемникът с покритие от SiC е съществена част от MOCVD, така че изисква превъзходна устойчивост на топлина и химикали, както и висока топлинна еднородност. Създадохме специално за тези взискателни приложения на оборудване за епитаксия.