Графитни пластинови фиксатори с покритие от SiC

Semicorex SiC-покрити графитни вафлови носители са незаменимите графитни носители на вафли, покрити с плътно и равномерно CVD SiC покритие, които са проектирани специално за епитаксиални системи за растеж на полупроводници MOCVD от висок клас. Изборът на Semicorex означава, че можете да получите рентабилни цени, превъзходно качество на продукта и надеждно обслужване.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Графит с покритие Semicorex SiCвафлени фиксаториса дисковидни компоненти, широко използвани в ротационни системи MOCVD за поддържане и нагряване на пластини. Те могат да улеснят равномерното разпределение на газа и последователното разпределение на топлината в реакционните камери, осигурявайки оптимална среда за процес за висококачествен и високоефективен епитаксиален растеж. Покритите с Semicorex SiC графитни вафли са подходящи за приложения, изискващи отлична еднородност на тънък слой, като GaN епитаксия върху сапфирови субстрати.

Характеристики на Semicorex SiC-покрити графитни пластини

Покритите с Semicorex SiC графитни пластинчати приемници използват графит с висока чистота като основен материал и отлагат равномерно и плътно покритие от силициев карбид върху основата си чрез химическо отлагане на пари. Възползвайки се от превъзходни суровини и усъвършенствана производствена технология, фиксаторите за графитни пластини с покритие Semicorex SiC притежават следните изключителни характеристики.

1. Изключителна термична стабилност

MOCVD оборудването обикновено работи при температури над 1000 ℃, което налага строги изисквания към високотемпературните характеристики на вътрешните компоненти. Покритите с SiC графитни фиксатори Semicorex могат да се справят добре с тези тежки условия на работа и да работят стабилно дори при дългосрочно обслужване при висока температура. Без напукване или отделяне на покритието, графитните пластинчати фиксатори с покритие Semicorex SiC могат значително да премахнат риска от отделяне на газ и примеси от графитната основа.

2. Силна устойчивост на корозия

Покритите с Semicorex SiC графитни пластинчати приемници се характеризират с превъзходна устойчивост на окисляване и устойчивост на корозия по време на сложни условия на висока температура и силна корозия. ТяхнатаCVD SiC покритиемогат значително да предотвратят основата им от ерозия от технологични газове като NH3 и H2, да сведат до минимум отделянето на въглеродно замърсяване и по този начин да подобрят чистотата на епитаксиалните филми.

3.Отлична топлопроводимост

Покритите с Semicorex SiC графитни пластинчати фиксатори имат надеждна способност за термично управление по време на процеси на епитаксиален растеж, тъй като техните графитни основи и CVD SiC покрития имат отлична топлопроводимост. Те могат да осигурят равномерно разпределение на топлината през пластините на субстрата по време на процеси на отлагане на тънък слой, което води до висококачествени епитаксиални слоеве.