Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашият графитен ток с SiC покритие за MOCVD има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.
Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor за MOCVD е високочист графитен носител с покритие от силициев карбид, използван в процеса за отглеждане на епиксиалния слой върху пластиновия чип. Това е централната плоча в MOCVD, формата на зъбно колело или пръстен. Графитен ток с покритие от SiC за MOCVD има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
В Semicorex ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и услуги на нашите клиенти. Ние използваме само най-добрите материали и нашите продукти са проектирани да отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност. Нашият графитен ток с SiC покритие за MOCVD не е изключение. Свържете се с нас днес, за да научите повече за това как можем да ви помогнем с вашите нужди за обработка на полупроводникови пластини.
Параметри на графитен ток с покритие от SiC за MOCVD
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси