Графитен токоприемник с SiC покритие за MOCVD

Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашият графитен ток с SiC покритие за MOCVD има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor за MOCVD е графитен носител с покритие от силициев карбид с висока чистота, използван в процеса за отглеждане на епиксиалния слой върху вафления чип. Това е централната плоча в MOCVD, формата на зъбно колело или пръстен. Графитен ток с SiC покритие за MOCVD има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
В Semicorex ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и услуги на нашите клиенти. Ние използваме само най-добрите материали и нашите продукти са проектирани да отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност. Нашият графитен ток с SiC покритие за MOCVD не е изключение. Свържете се с нас днес, за да научите повече за това как можем да ви помогнем с вашите нужди за обработка на полупроводникови пластини.

Параметри на графитен ток с покритие от SiC за MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на окисление при висока температура: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси