Графитен ток с покритие от силициев карбид за MOCVD

Semicorex е доверен доставчик и производител на графитен ток с покритие от силициев карбид за MOCVD. Нашият продукт е специално проектиран да задоволи нуждите на полупроводниковата индустрия при отглеждане на епитаксиалния слой върху пластинковия чип. Продуктът се използва като централна плоча в MOCVD, със зъбно колело или пръстеновиден дизайн. Има висока устойчивост на топлина и корозия, което го прави идеален за използване в екстремни среди.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият графитен приемник със силициево-карбидно покритие за MOCVD има няколко ключови характеристики, които го отличават от конкуренцията. Осигурява покритие върху цялата повърхност, като избягва отлепването и има устойчивост на окисление при висока температура, осигуряваща стабилност дори при високи температури до 1600°C. Продуктът е произведен с висока чистота чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране. Има плътна повърхност с фини частици, което го прави силно устойчив на корозия от киселина, основи, сол и органични реагенти.
Нашият графитен приемник със силициево-карбидно покритие за MOCVD е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Предотвратява всякакво замърсяване или дифузия на примеси, осигурявайки висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип.

Параметри на силициев карбид покритие графитен ток за MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на силициев карбид покритие графитен токосприемник за MOCVD

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси

Горещи маркери: Графитен токосцептор със силициево-карбидно покритие за MOCVD, Китай, производители, доставчици, фабрика, персонализиран, насипен, усъвършенстван, издръжлив

Продуктов етикет

Свързана категория