MOCVD ток с SiC покритие

Semicorex е водещ производител и доставчик на MOCVD Susceptor с SiC покритие. Нашият продукт е специално проектиран за полупроводниковата промишленост за отглеждане на епитаксиалния слой върху пластинковия чип. Графитният носител с покритие от силициев карбид с висока чистота се използва като централна плоча в MOCVD, със зъбно колело или пръстеновиден дизайн. Нашият ток се използва широко в MOCVD оборудване, осигурявайки висока устойчивост на топлина и корозия и голяма стабилност в екстремни среди.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Една от най-важните характеристики на нашия MOCVD Susceptor с SiC покритие е, че той осигурява покритие върху цялата повърхност, като избягва отлепването. Продуктът има устойчивост на високотемпературно окисляване, която е стабилна при високи температури до 1600°C. Високата чистота се постига чрез използване на CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране. Продуктът има плътна повърхност с фини частици, което го прави силно устойчив на корозия от киселини, основи, соли и органични реагенти.
Нашият MOCVD ток с SiC покритие осигурява най-добрия модел на ламинарен газов поток, който гарантира равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати каквото и да е замърсяване или дифузия на примеси, като се гарантира висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип. Semicorex предлага конкурентно ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Нашият екип е посветен на предоставянето на отлично обслужване и поддръжка на клиентите. Ние се ангажираме да станем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки висококачествени и надеждни продукти, за да помогнем на вашия бизнес да расте.

Параметри на MOCVD ток с покритие от SiC

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на MOCVD ток с SiC покритие

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на окисление при висока температура: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси