Като професионален производител бихме искали да ви предоставим полупроводникови компоненти. Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
Компонентите с високочисто SiC покритие са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от графитни консумативи за горещи зони за отглеждане на кристали (нагреватели, тигели, изолация) до високопрецизни графитни компоненти за оборудване за обработка на пластини, като например графитни приемници с покритие от силициев карбид за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капаци на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Краен ефектор →
Крайният ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите.
Входящи пръстени →
Газов входен пръстен с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен със силициево-карбидно покритие, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex вафла Edge Grinding Chuck е керамичен диск, изработен от бял алуминиев оксид с висока чистота, предназначен за смилане на ръба на вафли при производство на полупроводници. Изборът на Semicorex осигурява превъзходно качество на материала, прецизно инженерство и надеждни показатели, които поддържат най -взискателните среди за обработка на вафли.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПорестият алуминиев алуминиев патрон Semicorex са микропореста черна алуминиев вакуум за вакуум с 35–40% порьозност, предназначена да осигури равномерно засмукване и безопасна борово управление при производството на полупроводници. Изборът на Semicorex означава надеждно керамично инженерство, превъзходно качество на материала и постоянна работа, която предпазва добива и стабилността на процеса.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеVacuum Chucks Semicorex Al2O3 са микропореста керамична адсорбционна адсорбция, направена от черен алуминиев оксид с порьозност 35–40%, специално проектирана за боравене с вафли в приложения за полупроводници. Изборът на Semicorex означава да се възползвате от усъвършенствана керамична технология, прецизно инженерство и надеждно качество на продукта, които гарантират стабилни характеристики в взискателни среди в чисти помещения.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеСемикорекс алуминиев керамичен рамо е роботизиран компонент с висока чистота, предназначен за прецизно и без замърсяване на вафли при производство на полупроводници. Изборът на Semicorex осигурява не само усъвършенствано качество на алуминиевия керамичен материал, но и прецизната изработка, която гарантира издръжливост, чистота и надеждност в критичните процесорни среди.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеВходните пръстени на Semicorex SIC са високоефективни компоненти на силициев карбид, проектирани за оборудване за полупроводниково обработка, предлагащи изключителна топлинна стабилност, химическа устойчивост и прецизна обработка. Изборът на Semicorex означава да получите достъп до надеждни, персонализирани и без замърсяване решения, надеждни от водещи производители на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex sic Arm е компонент на силициев карбид с висока чистота, предназначен за прецизно обработка и позициониране на вафли при производство на полупроводници. Изборът на Semicorex осигурява надеждност на несъвместимостта, химическа устойчивост и прецизно инженерство, които поддържат най -взискателните полупроводникови процеси.*
Прочетете ощеИзпратете запитване