Като професионален производител бихме искали да ви предоставим полупроводникови компоненти. Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
Компонентите с високочисто SiC покритие са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от графитни консумативи за горещи зони за отглеждане на кристали (нагреватели, тигели, изолация) до високопрецизни графитни компоненти за оборудване за обработка на пластини, като например графитни приемници с покритие от силициев карбид за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капаци на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Краен ефектор →
Крайният ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите.
Входящи пръстени →
Газов входен пръстен с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен със силициево-карбидно покритие, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Монокристалните силициеви електроди Semicorex служат както като електроди, така и като пътища за ецващ газ по време на процеса на ецване на пластини. Монокристалните силициеви електроди Semicorex са незаменими силициеви компоненти, проектирани специално за производството на ецване на полупроводници от висок клас, което може да помогне за подобряване на прецизността и еднородността на ецването.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Cantilever Paddles са прецизно проектиран компонент, предназначен за приложения за обработка на полупроводници с висока температура и висока чистота. Semicorex осигурява висококачествени конзолни лопатки, за да отговори на взискателните изисквания на усъвършенстваните системи за обработка на пластини и термично управление.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеСилициевите ецващи пръстени Semicorex са прецизни компоненти за ецване във формата на пръстен, произведени от монокристален силиций с висока чистота. Те са основните силиконови части, използвани в оборудването за плазмено ецване, проектирани специално за създаване на оптимални условия за плазмено ецване. Изберете Semicorex, изберете висококачествените силиконови гравиращи пръстени.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПещните тръби Semicorex за LPCVD са прецизно произведени тръбни компоненти с равномерно и плътно CVD SiC покритие. Специално проектирани за усъвършенствания процес на химическо отлагане на пари при ниско налягане, тръбите на пещта Semicorex за LPCVD са в състояние да осигурят подходящи реакционни среди с висока температура и ниско налягане, за да подобрят качеството и добива на отлагане на тънкослойни пластини.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex CVD SiC-покритите тръби за пещи са тръбни компоненти от висок клас, специално произведени за високотемпературна обработка на полупроводници, като окисляване, дифузия и отгряване на полупроводникови пластини. Използвайки напреднали технологии за обработка и зрял производствен опит, Semicorex се ангажира да доставя прецизно обработени CVD SiC-покрити тръби за пещи с водещо на пазара качество за нашите уважаеми клиенти.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Process Tubes са направени от SiC керамика с висока чистота с CVD SiC покритие, подходяща е за хоризонтална пещ в Semiconductor. Като се има предвид качеството на продукта и следпродажбеното обслужване, Semicorex е този, който иска да прави висококачествен бизнес с нашите клиенти по целия свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитване