Като професионален производител бихме искали да ви предоставим полупроводникови компоненти. Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
Компонентите с високочисто SiC покритие са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от графитни консумативи за горещи зони за отглеждане на кристали (нагреватели, тигели, изолация) до високопрецизни графитни компоненти за оборудване за обработка на пластини, като например графитни приемници с покритие от силициев карбид за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капаци на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Краен ефектор →
Крайният ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите.
Входящи пръстени →
Газов входен пръстен с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен със силициево-карбидно покритие, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex SiC Heating Filament е графитен нагревател с покритие от силициев карбид, предназначен за нагряване на пластини в усъвършенствано производство на полупроводници. Изборът на Semicorex означава избор на доверен партньор, който доставя материали с висока чистота, прецизно персонализиране и дълготрайна производителност за най-взискателните термични процеси.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронниците от силициев карбид Semicorex са специално проектирани за фотолитографско оборудване и имат множество предимства като висока прецизност, ултралеко тегло, висока твърдост, нисък коефициент на термично разширение и отлична устойчивост на износване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Furnace Tubes е тръба от силициев карбид с висока чистота, произведена чрез усъвършенствана технология за 3D печат, предназначена за високотемпературни фотоволтаични процеси. Semicorex доставя авангардни решения от SiC с превъзходна здравина, стабилност и надеждност, на които се доверява слънчевата индустрия в целия свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Paddles са конзолно рамо от силициев карбид с висока чистота, проектирано за транспортиране на вафли в пещи за окисляване и дифузия при висока температура над 1000 ℃. Изборът на Semicorex означава гарантиране на изключително качество на материалите, прецизно инженерство и дългосрочна надеждност, на които се доверяват водещи производители на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Focus Ring е пръстен от силициев карбид с висока чистота, предназначен да оптимизира разпределението на плазмата и еднаквостта на процеса на пластини в производството на полупроводници. Изборът на Semicorex означава осигуряване на постоянно качество, усъвършенствано инженерство на материалите и надеждна производителност, на които се доверяват водещи производители на полупроводници по света.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex вафла Edge Grinding Chuck е керамичен диск, изработен от бял алуминиев оксид с висока чистота, предназначен за смилане на ръба на вафли при производство на полупроводници. Изборът на Semicorex осигурява превъзходно качество на материала, прецизно инженерство и надеждни показатели, които поддържат най -взискателните среди за обработка на вафли.*
Прочетете ощеИзпратете запитване