Планарна мишена от монокристален силиций

Монокристален силицийравнинната цел обикновено се обработва от високопрецизно режещо оборудване от монокристални силициеви слитъци, произведени по метода на Чохралски. За да отговори на разнообразяването на нуждите на клиентите, монокристалната силициева планарна мишена може да бъде нарязана в желани форми за вашите уважавани клиенти. Технологията за прецизна обработка на шлайфане и полиране осигурява превъзходна плоскост на повърхността на целевия материал, осигурявайки силна гаранция за отлагането на тънки филми.

Монокристална силициева планарна мишена се поставя вътре във вакуумна реакционна камера заедно със субстрата, който трябва да бъде покрит по време на процеса на отлагане на филма. Когато монокристалната силициева планарна цел е бомбардирана от високоенергийни йони, силициевите атоми на нейната повърхност се разпръскват. Тези разпръснати силициеви атоми след това мигрират и се отлагат върху повърхността на субстрата, като в крайна сметка образуват тънък силициев филм.

Планарната мишена от монокристален силиций служи като източник на материал за отлагане на тънък слой. Всички силициеви атоми, отложени върху повърхността на пластината, произхождат от монокристални силициеви планарни мишени. Следователно качеството на планарната мишена от монокристален силиций директно определя чистотата, еднородността и други ключови свойства на отложения тънък филм.

Превъзходната характеристика на чистота придава на монокристалната силициева планарна мишена способността да предотвратява замърсяването на тънкия филм от примеси. Това значително подобрява електрическите характеристики на полупроводниковите устройства. Подобряването на еднородността и адхезията на тънките слоеве се възползва от неговата силно подредена кристална структура, която позволява на разпръскващите се частици да мигрират и да се отлагат по повърхността на вафлата по-редовно. Дизайнът на планарната структура е подходящ за изисквания за разпръскване с голяма площ и висока скорост и е приложим за сценарии за мащабно производство като полупроводникови пластини и дисплеи.