Силиконова вафлена лодка

Semicorex може да персонализира структурата на лодката със силиконова пластина, включително формата на пръта на жлеба, дължината на зъба на жлеба, формата, ъгъла на наклона и общия капацитет на натоварване на пластината, и може да бъде произведен според изискванията на клиента. Високотемпературните силиконови лодки могат ефективно да намалят контактните щети на силициевите пластини и да подобрят добива на процеса. Неговият високотемпературен дизайн на "кули без приплъзване" поддържа пластини само на върха на поддържащия зъб. В сравнение ссилициев карбид, силицийът има относително ниска твърдост, което намалява механичните повреди на пластините, като по този начин подобрява скоростта на преминаване на решетката и ефективно намалява производствените разходи. Лодката от разтопен силикон се състои от няколко части: зъби, основна плоча и горна плоча, които са слети заедно. Това намалява производствените разходи. В случай на частична повреда, повредените части могат да бъдат сменени без смяна на цялата силиконова лодка, което значително намалява разходите за собственост по време на употреба. В допълнение, силиконовата лодка има голяма горна граница за отлагане на полисилиций, което може ефективно да намали честотата на оборудването за PM и да подобри производствения капацитет.

Semicorex Silicon Wafer Boat е иновативен, специално проектиран носител за вафли. Той е специално създаден за високотемпературна обработка в пещ, използвана в полупроводниковата индустрия, включително процеси на окисление и редукция при температури между 1200 и 1250 °C. С предимствата на производителността, които не са налични в материала от силициев карбид (SiC), Silicon Wafer Boat осигурява предимства, свързани със строгите процеси, които производството на полупроводници изисква. Първо, свръхвисоката чистота на силициевия материал е значителна; всъщност,силициев материалпостига ултра-високи нива на чистота от над 9N (99,9999999%), като по този начин гарантира, че никакви метални или чужди примеси няма да замърсят обработката на пластини. Това е от решаващо значение за производството на водещи полупроводникови устройства, където надеждността на производителността и добивът са силно засегнати от замърсяване. Силициевата вафлена лодка осигурява ултра-чиста среда с високо ниво на чистота, подходяща за най-напредналите индустриални изисквания за работа с вафли, изложени на много високи температури за окислителна и редукционна обработка.

Друга полза отсилициев материале по-ниската му твърдост в сравнение с SiC материала. Пръчките или лодките от SiC са известни с твърдостта и здравината си, но самото свойство може да доведе до затруднения по време на обработката на пластини. При високи температури вафлите ще се движат микро; те ще подскочат леко, ще се изместят леко и ще се изкривят по ръбовете, докато са в лодката. По-твърдият SiC материал може да създаде по-висок риск от генериране на частици или драскотини по задната страна на пластината, тъй като свойствата на пластината и лодката взаимодействат при тези условия на обработка с висока температура.

Силициевата вафлена лодка облекчава това безпокойство, като се възползва от относително мекия характер на силиция по отношение на SiC. Намаляването на твърдостта позволява както по-малко триене, така и механично напрежение, когато пластините контактуват с лодката по време на термични цикли. В резултат на това частиците се генерират по-рядко и рискът от задните драскотини е намален до почти нула. Освен това, чрез минимизиране на повърхностните дефекти, Silicon Wafer Boat директно подобрява качеството на решетката и повишава общия процент на квалификация на обработените пластини. За полупроводникови фабрики, които искат да подобрят добивите с максимален контрол на качеството, това състояние на производителност прави силиконовата лодка привлекателна опция.

Силиконът предлага добра стабилност и механична якост при високи температури, което позволява на лодката да служи надеждно по време на повтарящи се цикли на пещ. Материалът е устойчив на изкривяване по време на цикли на нагряване и охлаждане и по този начин поддържа прецизно поставяне на пластини и толеранс на позициониране дори по време на бързи цикли на пещ. Тази термична устойчивост осигурява надеждни резултати от процеса, които са достатъчно постоянни за голям обем производство с минимални вариации между сериите. Силициевата вафлена лодка е конструирана с висока прецизност на размерите, за да осигури последователно позициониране и поставяне на вафли. Лодката е произведена чрез усъвършенствана обработка и полиране, за да се създадат гладки повърхности, тясна геометрия и тесни допуски.