Силиконова лодка с пиедестал

Semicorex Silicon Pedestal Boat е ултра-чист носител за пластини, който е проектиран с висока чистота и прецизност, за да поддържа високотемпературни полупроводникови процеси като окисляване, дифузия и LPCVD (химическо отлагане на пари при ниско налягане). Този носител за вафли е направен от 9N (99,9999999%)силиций с висока чистотаза осигуряване на изключителна чистота, стабилност на термичния коефициент на разширение и механична прецизност за поддръжка на пластини и последователен контрол на процеса в ултра-чисти среди.

Тъй като геометрията на полупроводниковите устройства продължава да се свива, необходимостта от ултра-чисти и термично съвместими компоненти за обработка на пластини никога не е била толкова търсена. Silicon Pedestal Boat отговаря на тези изисквания с висока точност на размерите и несравнима чистота, за да се използва в усъвършенствани пещни системи, които работят между 1100°C и 1250°C.

Структурата на силиконовата лодка може да бъде персонализирана, за да отговори на изискванията на клиента, включително форма на канал, дължина на зъбите, форма, ъгъл на наклон и общ капацитет за зареждане на пластини. Високотемпературните силиконови лодки могат ефективно да намалят контактните щети на силициевите пластини, подобрявайки добива на процеса. Неговият високотемпературен дизайн на "кули без приплъзване" поддържа пластини само на върха на поддържащия зъб. В сравнение със силициевия карбид, силицият е сравнително по-малко твърд, което намалява механичните повреди на пластините, като по този начин подобрява качеството на решетката и ефективно намалява производствените разходи.

Лодката с пиедестал се предлага вмонокристален или поликристален силицийза премахване на рисковете от замърсяване, свързани с несилициеви материали. Платформата споделя същия химически състав като активно използваните вафли, което минимизира нежеланите реакции или йонна дифузия по време на високотемпературни процеси. Хомогенността на материала значително намалява физическата идентичност на частиците и металните примеси за постоянно високо качество на пластините и висок добив на устройството чрез повтарящи се производствени цикли.

Semicorex Silicon Pedestal Boat разполага с прецизно проектирани слотове за пластини, комбинирани с вертикални поддържащи структури, гарантиращи, че пластините остават идеално подравнени и разположени по време на цикъла на нагряване. Неговата стабилност на размерите е изключителна, гарантирайки, че лодката на пиедестала няма да се изкриви, огъне или измести при екстремни температури, осигурявайки добра температура и разпределение на газа върху всяка пластина. Тази стабилност на размерите има незабавен положителен ефект върху равномерността на дебелината на филма по време на окисление и дифузия и осигурява по-нисък брой дефекти, както и по-добра повторяемост на процеса.

Основното предимство на лодката със силиконов пиедестал са нейните оптимизирани механични и термични свойства. Твърдостта на силиция в сравнение с SiC или кварца ще спомогне за намаляване на образуването на микродраскотини и частици, дължащи се на вибрации или движение на пластини по време на нагрято разширение. Това е особено вярно за пластини, чувствителни към задната страна, където целостта на повърхността на пластината е от решаващо значение за производителността и производителността на устройството.

Лодката с пиедестал има добра топлопроводимост и нисък коефициент на топлинно разширение, което осигурява характеристики на топлопреминаване, като същевременно поддържа формата и здравината на конструкцията с множество цикли на нагряване и охлаждане. Здравият дизайн също така осигурява дълъг живот с минимална деформация при екстремни условия на пещ.

Semicorex предоставя персонализирани дизайни за различни конфигурации на оборудване, включително диаметър на пластини, брой слотове, височина на пиедестала и вариации на геометрията. Всеки продукт се проверява за чистота, размерите се измерват и се тества за топлопроводимост, всичко това, за да отговаря на най-високите стандарти в процеса на производство на полупроводници.

Силициевата лодка с пиедестал е съвместима с процеси на окисляване и дифузия, както и с LPCVD и приложения за отгряване, изискващи ненадмината еднородност на температурата и контрол на замърсяването. Силиконовата лодка с пиедестал е съвместима с други компоненти на силициевата пещ, като например инжекторна тръба, облицовъчна тръба и носител на пластини, като поддържа съвпадение на материала и топлината в цялата система за обработка.