По време на обработката полупроводниковите пластини трябва да се нагряват в специализирани пещи. Реакторът се състои от удължени цилиндрични тръби, в които вафлите са разположени върху вафлите на предварително определено, равно разстояние. За да оцелеят при условията на обработка в камерата и да се сведат до минимум отпадъците за вафлите от оборудването за обработка, вафлите и много други други устройства, използвани при обработката на пластини, са произведени от материал като силициев карбид (SiC).
Лодките, натоварени с партида вафли за обработка, се позиционират върху дълги конзолни гребла, чрез които могат да бъдат вкарани и изтеглени от тръбните пещи и реактори. Греблата включват сплескана носеща секция, върху която могат да бъдат позиционирани една или повече лодки, и дълга дръжка, разположена в единия край на сплесканата носеща секция, с която може да се управлява греблото.
Препоръчва се конзолна лопатка за използване на прекристализиран силициев карбид с тънък слой CVD SiC, който е с висока чистота и е най-добрият избор за компонентите в обработката на полупроводници.
Semicorex може да предостави персонализирана услуга според чертежите и работната среда.
Semicorex SiC (силициев карбид) конзолна лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в пещи за дифузия или LPCVD (химическо отлагане на пари при ниско налягане) по време на процеси като дифузия и RTP (бърза термична обработка). SiC Contilever Paddle трябва да носи полупроводникови пластини сигурно в технологичната тръба по време на различни високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Той служи за поддържане и транспортиране на пластини в рамките на технологичната тръба на тези пещи. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеКонзолната лопатка от силициев карбид Semicorex е специализиран компонент, използван в пещи за различни приложения за термична обработка. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитванеСилициев карбид SiC керамична конзолна лопатка с голяма сила на натоварване на пластини е подходяща за автоматична система за зареждане и манипулиране на роботи, тъй като има стабилна производителност, не се деформира при висока температура и голяма сила на натоварване на пластини. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване