SiC гребла

Лопатките Semicorex SiC са "носителите" на вафлите, които отвеждат вафлите в пещи с температура над 1000 градуса по Целзий. Това е тяхното основно предимство: висока чистота, стабилност при висока температура, за поддържане на механична твърдост при транспортиране на пробата в екстремни среди. Материалите с висока чистота са ефективни за предотвратяване на замърсяването на пластината от метални примеси; както и високата температурна стабилност насилициев карбид, тъй като ще поддържа химическа стабилност при температури на обработка, които изключват отделянето на метални примеси или частици от замърсяване на пластината, осигурявайки стабилен добив на пластина. накрая,конзолни гребласъщо така са съвместими с интегрирани системи за трансфер на вафли, като допълнително намаляват зависимостта от хората и увеличават производителността.

SiC Paddles са уникален компонент на носителя, специално за транспортиране и интегриране на полупроводникови пластини в партидно работно натоварване в процеси като високотемпературно окисление и дифузия, между другото. Произведено с висока чистотасилициев карбид (SiC), SiC Paddles осигуряват термична стабилност, механична якост и химическа издръжливост, за да осигурят стабилен транспорт при температури над 1000 °C. SiC лопатките са необходими за обработка на вафли: те ще гарантират, че крехките субстрати могат да бъдат подходящо обработени, като същевременно поддържат целостта и консистенцията по време на процеса на окисление, дифузия и отгряване.

Проектирани да бъдат здрави и надеждни, SiC Paddles са рамо от конзолен тип, което държи лодки с вафли или стекове с вафли. Греблото поддържа пластини, докато се поставят или изваждат от камерата за обработка. Конвенционалните материали се развалят при тези високи температури чрез деформация, изкривяване или химическо разграждане. Механичната стабилност и структурната цялост на силициевия карбид позволява на греблото да оцелее при множество термични цикли без загуба на форма или функция. Тази способност е важна за поддържане на центровката на пещта, за гарантиране, че вафлите не са повредени по време на процеса и за минимизиране на скъпоструващия престой.

Термичната стабилност на SiC Paddles се допълва от отличната им химическа устойчивост към реактивни газове, които обикновено се появяват при процеси на окисление и дифузия (напр. кислород, хлор и други агресивни видове при висока температура). Много материали ще бъдат унищожени или замърсени, когато бъдат изложени както на висока температура, така и на кислород. Силициевият карбид е химически инертен и неговата плътна микроструктура гарантира, че няма да настъпят химични реакции, осигурявайки структурна цялост на лопатката и чиста среда за пластината. Произтичащият риск от замърсяване е сведен до минимум за производителите на полупроводници, които работят в някои от най-напредналите процесни възли, за които дори микроелементи от замърсители могат да предизвикат значителни промени в работата на устройството.

Механичната цялост, свързана с греблата SiC, също осигурява стойност при процесите на работа. Конзолната структурна форма изисква материал, който може да издържи тежести на купчини слоеве и не се огъва или провисва. Много високият модул на еластичност и много високата твърдост на силициевия карбид го правят добро съображение за механичната структурна функция, която се изисква. SiC Paddle запазва както плоскостта, така и структурата дори при натоварване с вафли. Това означава постоянен контрол на пещта и нейните условия по време на дълги производствени периоди.