SiC керамично гребло

Керамичната лопатка Semicorex SiC е усъвършенствана част, разработена за приложения на високотемпературни полупроводникови пещи като окисление и дифузия. Греблото действа като конзолна опора за задържане и преместване на вафлите при високи температури. Керамичната лопатка Semicorex SiC дава керамични компоненти с висока чистота и висока якост за високотемпературни процеси, които изискват надеждност, стабилност и производителност, взискателни през производствения процес.

Лопатките са произведени от високочистосилициев карбид (SiC), специално формулиран да издържа на тежките термични и химически среди на производствения процес на полупроводници. Когато пластините се третират чрез окисление и дифузия, пластините се излагат на температури, по-високи от 1000 градуса C, както и на реактивни газове като кислород, пара или атмосфери с добавки. При тези температури структурната цялост ще зависи от чистотата на материала.

Друга важна характеристика на SiC керамичните лопатки е тяхната превъзходна работа при високи температури. Поради точката на топене на SiC от 2700+C, лопатките запазват здравина и механична стабилност, когато са изложени на висока температура

температури във времето. Термичното свойство ограничава изкривяването и напукването на материала по време на повтарящи се цикли на нагряване и охлаждане, като същевременно осигурява дълъг експлоатационен живот в производствени среди.

Обработката на полупроводници изисква ултра-чиста среда, тъй като дори следи от примеси могат да повлияят на добива и поведението на устройствата. SiC материалът, използван в лопатките, има SiC покритие, нанесено чрез химически изпарения (CVD), което насърчава изключително висока чистота на материала, като същевременно минимизира металното замърсяване. SiC керамичната лопатка остава чиста и стабилна през целия си живот. Като конзолни опори, лопатките трябва да осигурят сигурна опора за носители за вафли или лодки по време на поставяне и изваждане от пещта. ПорадиSiC керамикаБлагодарение на присъщата здравина и твърдост, те притежават добри свойства на натоварване с минимална деформация, което е от съществено значение за правилното боравене и подравняване на пластини. В окислителните и дифузионни пещи корозивните атмосфери могат да атакуват и разграждат традиционните материали с течение на времето, но SiC има способността да поддържа своята химическа стабилност, удължавайки живота на лопатката. Това води до драстично намалени разходи за поддръжка и подмяна, тъй като греблата не трябва да се сменят или ремонтират толкова често.

В допълнение към производителността има гъвкавост при персонализиране на лопатките за специфично оборудване и процеси. Размерите, допустимите отклонения и повърхностното покритие могат да бъдат направени гъвкави, за да се осигури съответствие между дизайна на пещта и всяка друга система за обработка на вафли. Способността за постигане на висока степен на точност на размерите с прецизна механична обработка на керамиката също ще позволи производството на лопатки, които да отговарят на сложни геометрии. Цялата тази гама от функции има за цел да осигури безпроблемна работа и лесна интеграция в съществуващи производствени линии.

SiC керамика керамикалопатките, с тяхната комбинация от висока чистота, термична стабилност, механична якост и химическа устойчивост, са основни материали в процесите на окисляване и дифузия на полупроводници. Осигурявайки стабилна, чиста платформа за трансфер на вафли, те директно допринасят за подобрен добив, последователност на процеса и цялостна ефективност на производството.