Пръстенът за фокусиране или пръстените по ръба са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината.
Фокусните пръстени Semicorex са покрити със силициев карбид с помощта на химическо отлагане на пари (CVD) и осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и издръжлива химическа устойчивост, които са създадени да издържат на екстремни среди при процес на плазмено ецване или сухо ецване .
Устойчивите фокусни пръстени Semicorex за обработка на полупроводници са проектирани да издържат на екстремни среди на камери за плазмено ецване, използвани при обработка на полупроводници. Нашите фокусни пръстени са изработени от графит с висока чистота, покрит с плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). SiC покритието има високи корозионни и топлоустойчиви свойства, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD), за да подобрим експлоатационния живот на нашите фокусиращи пръстени.
Прочетете ощеИзпратете запитванеФокусиращият пръстен за плазмена обработка Semicorex е специално проектиран да отговори на високите изисквания на обработката с плазмено ецване в полупроводниковата индустрия. Нашите усъвършенствани компоненти с покритие от силициев карбид с висока чистота са създадени да издържат на екстремни среди и са подходящи за използване в различни приложения, включително слоеве от силициев карбид и епитаксиални полупроводници.
Прочетете ощеИзпратете запитванеУсъвършенстваните SiC фокусни пръстени с висока чистота на Semicorex са създадени да издържат на екстремни среди в камери за плазмено ецване (или сухо ецване). Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Прочетете ощеИзпратете запитване