Пръстенът за фокусиране или ръбовите пръстени са предназначени да подобрят равномерността на ецване около ръба или периметъра на пластината.
Фокусните пръстени Semicorex са покрити със силициев карбид с помощта на химическо отлагане на пари (CVD) и осигуряват превъзходна устойчивост на топлина, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и издръжлива химическа устойчивост, които са създадени да издържат на екстремни среди при процес на плазмено ецване или сухо ецване .
Semicorex SiC Focus Ring е пръстен от силициев карбид с висока чистота, предназначен да оптимизира разпределението на плазмата и еднаквостта на процеса на пластини в производството на полупроводници. Изборът на Semicorex означава осигуряване на постоянно качество, усъвършенствано инженерство на материалите и надеждна производителност, на които се доверяват водещи производители на полупроводници по света.*
Прочетете ощеИзпратете запитване