Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капак на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработка на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.
Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.
Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва в обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.
Входящи пръстени →
Входен пръстен за газ с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен с покритие от силициев карбид, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.
Дисковете за отклоняване на газ с покритие от Semicorex SiC са незаменими графитни компоненти, използвани в полупроводниковото епитаксиално оборудване, проектирани специално за регулиране на потока на реакционния газ и насърчаване на равномерното разпределение на газа в реакционната камера. Изберете Semicorex, изберете оптималните решения за отклоняване на газ за висококачествени епитаксиални резултати на пластини.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Wafer Carrier е изработен от керамика от силициев карбид с висока чистота, чрез технология за 3D печат, което означава, че може да постигне високоценни машинни компоненти за кратко време. Смята се, че Semicorex предоставя квалифицирани висококачествени продукти на нашите клиенти в цял свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex CVD SiC-покрити горни земни пръстени са основните пръстеновидни компоненти, проектирани специално за усъвършенстваното оборудване за плазмено ецване. Като водещ в индустрията доставчик на полупроводникови компоненти, Semicorex се фокусира върху доставянето на висококачествени, дълготрайни и ултра-чисти горни заземени пръстени с CVD SiC покритие, за да помогне на нашите уважаеми клиенти да подобрят оперативната ефективност и цялостното качество на продукта.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Seals са високопроизводителни механични лицеви компоненти, проектирани да осигурят превъзходна устойчивост на износване, термична стабилност и универсална химическа инертност в най-взискателните среди на въртящо се оборудване. Semicorex е професионален доставчик на SiC керамични материали, който може да достави високопрецизни продукти за глобални клиенти.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Pedestal е високопрецизен, многофункционален хардуерен компонент, предназначен да осигури термична стабилност и сложно разпределение на течността, необходими за усъвършенствани микроканални реакционни системи. Semicorex е специализирана в проектирането и доставката на тези пиедестали от SiC с висока чистота според нуждите на клиентите.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПлочите за полиране на пластини от алуминиев оксид Semicorex са високоефективни полиращи компоненти, изработени от керамика от алуминиев оксид, които са проектирани специално за процес на полиране на пластини в производството на полупроводници от висок клас. Избирайки Semicorex, изберете продуктите с рентабилна цена, изключителна издръжливост и високоефективна обработка.
Прочетете ощеИзпратете запитване