Хоризонтална камерна пещ sic лодки

Horicorex хоризонтална камерна пещ SIC лодки са високо инженерирана част, която държи и носи вафли или субстрати, докато те са подложени на високотемпературна термична обработка в хоризонтална камерна пещ. Лодката с вафли е направена от SIC с висока чист силициев карбид (sic), който осигурява уникалната комбинация от здравина, термична стабилност и висока химическа устойчивост, които се изискват в полупроводникови, фотоволтаични и напреднали керамични процеси. Лодката с вафли също действа като твърда конструкция, за да държи вафли в положение, стабилността на размерите и прецизността на вафлите няма да се губи чрез разширено излагане на екстремни температури на процеса.

Превъзходните свойства на силициевия карбид осигуряват хоризонталната камерна пещ SIC лодки превъзходно предимство на производителността в сравнение с типичните материали за вафлени лодки като кварц или алуминий. Те могат по-добре да издържат на рядко краткотрайно отопление и охлаждащи цикли, поради високата си точка на топене, устойчивост на термичен удар и механична якост, независимо от скоростта на нагряване и охлаждане или крайности на термичния цикъл. Тъй като хоризонталната пещ разчита изцяло на консистенцията на позициите на вафлите и излагането на условията на процеса, правилното подравняване на вафли осигурява постоянен добив и повторяемост на процеса. Ниският коефициент на термично разширение означава, че лодката няма да се изкривява през живота си и да осигури задържана форма и разстояние на вафлите.

Финозърнестата, плътна структура на прекристализираната SIC осигурява забележителна устойчивост на окисляване, корозия и замърсяване чрез процесорни газове и странични продукти. Това прави лодката особено изгодна за процесите в агресивни атмосфери като дифузия, окисляване, LPCVD и отгряване. Високата химическа инертност на SIC избягва реакциите с повърхностите на вафлите, като по този начин запазва чистотата на продукта и минимизира генерирането на частици в пещта. SIC лодките могат да помогнат на производителите, които трябва да отговорят на строгите изисквания за чистота, осигурявайки по -чисти среди за обработка и подобрено качество на вафли.

Тези лодки могат да бъдат произведени с различни сложни геометрии и частични размери с прецизна техники за обработка и формиране. Дизайните обикновено използват множество паралелни слотове/канали, за да държат вафлите сигурно в хоризонтална ориентация и равномерно излагат цялата повърхност на вафли на термични условия. Разстоянието между слот до слот и ъглите също могат да бъдат оптимизирани така, че да отговарят на вафли с други диаметри, като 150 mm, 200 mm или 300 mm, и директният въздушен поток по време на обработващите ефекти, като все пак постигат равномерност на температурата за обработка.

Не само хоризонталните камерни лодки могат да бъдат проектирани в стандартни заминавания, но могат да бъдат проектирани да работят с автоматизирани товарачи на вафли, което води до безпроблемна интеграция в съвременните производствени линии с висока пропускателна способност. Здравият дизайн също ще направи лодките по -малко вероятни да чип или да се счупят по време на работа и да намалят времето на престой и разходите за замествания.

Топлинната проводимост насилициев карбидпредставлява друго ключово предимство, което улеснява ефективния пренос на топлина между вафлите и пещната среда. Предимството е, че производителите са в състояние да постигнат по -равномерни условия за обработка и време на съкращаване на цикъла, което може да повиши ефективността на производството. SIC лодките осигуряват постоянни и повтарящи се резултати, независимо дали се използват за производство на полупроводници, производство на слънчеви клетки или друга обработка на усъвършенствани материали при повишени температури.

В обобщение, хоризонталната камерна пещ SIC лодки са ключов компонент за производителите, които искат да произвеждат вафли с високоефективни, дълготрайни и устойчиви на замърсяване носители на вафли. Той има механична якост, термична стабилност и химическа инертност, които са ненадминати в приложенията на хоризонтални пещи. Избирайки силиконови карбидни лодки, операторите могат да използват по -добър контрол на процесите, по -високи добиви и да сведат до минимум оперативните прекъсвания поради поддръжката. Като цяло той осигурява по -ефективни, икономически ефективни продукции.