Керамичен краен ефектор

Semicorex е вашият партньор за усъвършенствани графитни компоненти и модули за поддържане на по-висока производителност и по-добри добиви във вашето оборудване за обработка на полупроводници. Нашите експерти по материали са готови да работят с вас, за да разработят оптималното правилно решение за вашите изисквания за обработка, нагряване и обработка на вафли. Нашият керамичен краен ефектор има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Керамичният краен ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите. Крайният ефектор трябва да бъде с прецизни размери и термично стабилен, като същевременно има гладка, устойчива на абразия повърхност, за да може безопасно да работи с пластини, без да поврежда устройствата или да създава замърсяване с частици. Нашият керамичен краен ефектор от силициев карбид с висока чистота осигурява превъзходна топлоустойчивост, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествен, рентабилен керамичен краен ефектор, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на керамичния краен ефектор

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300