Процесен нагревател за вафли

Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашият нагревател за вафлен процес има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex Wafer Process Heater е направен от графит със силициево карбидно покритие (SiC), покритието се нанася чрез CVD метод върху специфични степени на графит с висока плътност, така че може да работи във високотемпературна пещ с над 3000 °C в инертна атмосфера, 2200°C във вакуум.
Специалните свойства и ниската маса на материала Wafer Process Heater позволяват бързи скорости на нагряване, равномерно разпределение на температурата и изключителна прецизност на контрола. В сравнение с други материали, повърхността на силициевия карбид остава равна поради ниското си термично разширение дори когато работи с бързи промени в температурата. Горещите плочи са много подходящи за взискателни процеси в системи за обработка на полупроводници.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашият нагревател за вафлен процес има ценово предимство и се изнася на много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на технологичния нагревател за вафли

Техническа спецификация	ВЕТ-М3
Обемна плътност (g/cm3)	≥1,85
Съдържание на пепел (PPM)	≤500
Твърдост по Шор	≥45
Специфично съпротивление (μ.Ω.m)	≤12
Якост на огъване (Mpa)	≥40
Якост на натиск (Mpa)	≥70
Макс. Размер на зърното (μm)	≤43
Коефициент на термично разширение Mm/°C	≤4,4*10-6

Характеристики на нагревателя за обработка на вафли

- CVD SiC покрития за подобряване на експлоатационния живот.
- Устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, дълъг експлоатационен живот, може да подобри качеството и добива на пластини.
- Има изключително нисък коефициент на термично разширение, устойчивост на висока температура, висока устойчивост на износване, добра изолация, добра химическа стабилност и почти лилаво (червено) проникване на видима светлина.

Ние можем да осигурим антиоксидация и дълъг живот на графитен тигел, графитна форма и всички части на графитен нагревател.