Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Ние се фокусираме върху полупроводниковите индустрии като слоеве от силициев карбид и епитаксиален полупроводник. Нашият нагревател за вафлен процес има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.
Semicorex Wafer Process Heater е направен от графит със силициево карбидно покритие (SiC), покритието се нанася чрез CVD метод върху специфични степени на графит с висока плътност, така че може да работи във високотемпературна пещ с над 3000 °C в инертна атмосфера, 2200°C във вакуум.
Специалните свойства и ниската маса на материала Wafer Process Heater позволяват бързи скорости на нагряване, равномерно разпределение на температурата и изключителна прецизност на контрола. В сравнение с други материали, повърхността на силициевия карбид остава равна поради ниското си термично разширение дори когато работи с бързи промени в температурата. Горещите плочи са много подходящи за взискателни процеси в системи за обработка на полупроводници.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашият нагревател за вафлен процес има ценово предимство и се изнася на много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.
Параметри на технологичния нагревател за вафли
Техническа спецификация |
ВЕТ-М3 |
Обемна плътност (g/cm3) |
≥1,85 |
Съдържание на пепел (PPM) |
≤500 |
Твърдост по Шор |
≥45 |
Специфично съпротивление (μ.Ω.m) |
≤12 |
Якост на огъване (Mpa) |
≥40 |
Якост на натиск (Mpa) |
≥70 |
Макс. Размер на зърното (μm) |
≤43 |
Коефициент на термично разширение Mm/°C |
≤4,4*10-6 |
Характеристики на нагревателя за обработка на вафли
- CVD SiC покрития за подобряване на експлоатационния живот.
- Устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, дълъг експлоатационен живот, може да подобри качеството и добива на пластини.
- Има изключително нисък коефициент на термично разширение, устойчивост на висока температура, висока устойчивост на износване, добра изолация, добра химическа стабилност и почти лилаво (червено) проникване на видима светлина.
Ние можем да осигурим антиоксидация и дълъг живот на графитен тигел, графитна форма и всички части на графитен нагревател.