Капак на вакуумна камера MOCVD

Капакът на вакуумната камера MOCVD, използван при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържа на високи температури и грубо химическо почистване. Капакът на вакуумната камера MOCVD с покритие от силициев карбид Semicorex е проектиран специално да издържа на тези предизвикателни среди. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Компонентите на Semicorex Graphite са високочист графит с SiC покритие, използван в процеса за отглеждане на монокристал и процес на пластини. Израстването на капака на капака на MOCVD камерата има висока устойчивост на топлина и корозия, издръжливо е да изпита комбинация от летливи прекурсорни газове, плазма и висока температура.

В Semicorex ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и услуги на нашите клиенти. Ние използваме само най-добрите материали и нашите продукти са проектирани да отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност. Нашият капак за вакуумна камера MOCVD не е изключение. Свържете се с нас днес, за да научите повече за това как можем да ви помогнем с вашите нужди за обработка на полупроводникови пластини.

Параметри на капака на вакуумната камера MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt завой, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300