Капакът на вакуумната камера MOCVD, използван при растежа на кристали и обработването на вафли, трябва да издържа на високи температури и грубо химическо почистване. Капакът на вакуумната камера MOCVD с покритие от силициев карбид Semicorex е проектиран специално да издържа на тези предизвикателни среди. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Компонентите Semicorex Graphite са високочист графит с покритие от SiC, използван в процеса за отглеждане на монокристал и процес на пластини. Израстването на капака на капака на MOCVD камерата има висока устойчивост на топлина и корозия, издръжливо е да изпита комбинация от летливи прекурсорни газове, плазма и висока температура.
В Semicorex ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и услуги на нашите клиенти. Ние използваме само най-добрите материали и нашите продукти са проектирани да отговарят на най-високите стандарти за качество и производителност. Нашият капак за вакуумна камера MOCVD не е изключение. Свържете се с нас днес, за да научите повече за това как можем да ви помогнем с вашите нужди за обработка на полупроводникови пластини.
Параметри на капака на вакуумната камера MOCVD
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt огъване, 1300 â) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на капака на вакуумната камера MOCVD
â Изключително плоски възможности
â Огледален лак
â Изключително леко тегло
â Висока твърдост
â Ниско топлинно разширение
â Изключителна устойчивост на износване