Капакът на камерата от силициев карбид, използван при отглеждане на кристали и обработка на пластини, трябва да издържа на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Нашите продукти имат добро ценово предимство и покриват много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.
Капакът на камерата от силициев карбид, използван при израстване на единични кристали или MOCVD или обработване на пластини, трябва да издържа на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна топлоустойчивост, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост. Те са издръжливи, за да изпитат комбинация от летливи прекурсорни газове, плазма и висока температура.
Нашият капак на камерата от силициев карбид е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати каквото и да е замърсяване или дифузия на примеси, като се гарантира висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия капак на камерата от силициев карбид.
Параметри на капака на камерата от силициев карбид
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt огъване, 1300 â) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на капака на камерата от силициев карбид
â Изключително плоски възможности
â Огледален лак
â Изключително леко тегло
â Висока твърдост
â Ниско топлинно разширение
â Изключителна устойчивост на износване