Нагревател за вафли с SiC покритие

Semicorex е водещ независим производител на графит с покритие от силициев карбид, прецизно обработен графит с висока чистота, фокусиращ се върху графит с покритие от силициев карбид, керамика от силициев карбид, MOCVP в областта на производството на полупроводници. Нашият нагревател за вафли с SiC покритие има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex SiC Coated Wafer Heater може да работи във високотемпературна пещ с над 3000 °C в инертна атмосфера, 2200 °C във вакуум. Нагревателят за вафли с покритие от SiC с висока чистота осигурява превъзходна топлинна устойчивост, равномерна термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя и трайна химическа устойчивост. Финото кристално покритие от SiC осигурява чиста, гладка повърхност, критична за работа, тъй като чистите пластини контактуват с възприемателя в много точки по цялата си площ.
В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествен, рентабилен нагревател за вафли с SiC покритие, ние даваме приоритет на удовлетвореността на клиентите и предоставяме рентабилни решения. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор, доставяйки висококачествени продукти и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на вафлен нагревател с SiC покритие

Техническа спецификация	ВЕТ-М3
Насипна плътност (g/cm3)	≥1,85
Съдържание на пепел (PPM)	≤500
Твърдост по Шор	≥45
Специфично съпротивление (μ.Ω.m)	≤12
Якост на огъване (Mpa)	≥40
Якост на натиск (Mpa)	≥70
Макс. Размер на зърното (μm)	≤43
Коефициент на термично разширение Mm/°C	≤4,4*10-6

Характеристики на нагревателя за вафли с покритие от SiC

- Графит с високо чисто SiC покритие
- Превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност
- Фин SiC кристал с покритие за гладка повърхност
- Висока устойчивост срещу химическо почистване
- Материалът е проектиран така, че да не се получават пукнатини и разслояване.