Китай Специален графит Производители, доставчици, фабрика

Специалният графит е вид изкуствен графит, който се обработва. Това е важен материал, който е незаменим във всички аспекти на полупроводниковия и фотоволтаичния производствен процес, включително растежа на кристалите, йонното имплантация, епитаксията и т.н.

1. Силиконов карбид (SIC) Кристален растеж

Силиконов карбид, като полупроводников материал от трето поколение, се използва широко в нови енергийни превозни средства, 5G комуникации и други полета. В 6-инчовия и 8-инчов процес на растеж на Crystal SIC изостатичният графит се използва предимно за производството на следните ключови компоненти:

Графитен тигел: Това може да се използва за синтезиране на суровини на прах SIC и също така да подпомогне растежа на кристалите при високи температури. Неговата висока чистота, високотемпературна устойчивост и устойчивост на термичен удар гарантират стабилна среда за растеж на кристали.

Графитен нагревател: Това осигурява равномерно разпределение на топлина, осигурявайки висококачествен растеж на кристалите на SIC.

Изолационна тръба: Това поддържа температурната равномерност в рамките на пещта за растеж на кристалите и намалява загубата на топлина.

2. Иново имплантация

Йонната имплантация е ключов процес при производството на полупроводници. Изостатичният графит се използва предимно за производството на следните компоненти в йонните импланти:

Графит Getter: Това поглъща йони на примесите в йонния лъч, гарантирайки чистота на йони.

Графитен фокусиращ пръстен: Това фокусира йонния лъч, подобрявайки точността и ефективността на йонния имплант. Графитни субстратни тави: Използва се за поддържане на силициеви вафли и поддържане на стабилността и консистенцията по време на йонното имплантация.

3. Процес на епитакси

Процесът на епитаксия е критична стъпка в производството на полупроводникови устройства. Изостатично пресован графит се използва предимно за производството на следните компоненти в епитаксийското пещи:

Графитни тави и поредици: Използва се за поддържане на силициеви вафли, осигуряващи стабилна опора и равномерна топлинна проводимост по време на процеса на епитаксия.

4. Други приложения за производство на полупроводници

Изостатично пресован графит също се използва широко в следните приложения за производство на полупроводници:

Процес на офорт: Използва се за производство на графитни електроди и защитни компоненти за офорти. Неговата корозионна устойчивост и висока чистота гарантират стабилност и прецизност в процеса на ецване.

Химическо отлагане на пари (CVD): Използва се за производство на графитни тави и нагреватели в рамките на CVD пещи. Високата му термична проводимост и високотемпературната устойчивост осигуряват равномерно отлагане на тънък филм.

Тестване на опаковки: Използва се за производство на тестови тела и носещи тави. Неговата висока точност и ниско замърсяване осигуряват точни резултати от теста.

Предимства на графитните части

Висока чистота:

Използвайки изостатично притиснат графитен материал с изключително ниско съдържание на примеси, той отговаря на строгите изисквания за чистота на материала на полупроводниковото производство. Собствената пещ за пречистване на компанията може да пречисти графита до под 5ppm.

Висока точност:

С усъвършенстваното оборудване за обработка и технологията за зряла обработка, тя гарантира, че точността на точността и допустимите форми на продукта и отклоненията в позицията достигат нивото на микрона.

Висока производителност:

Продуктът има отлична висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия, радиационна устойчивост, висока топлинна проводимост и други свойства, отговарящи на различните сурови условия на работа на полупроводниково производство.

Персонализирана услуга:

Персонализираните услуги за проектиране и обработка на продукти могат да се предоставят според нуждите на клиента, за да отговорят на нуждите на различни сценарии на приложение.

Видове графитни продукти

(1) Изостатичен графит
Изостатичните графитни продукти се произвеждат от студено изостатично пресоване. В сравнение с други методи за формиране, тигелите, произведени от този процес, имат отлична стабилност. Графитните продукти, необходими за SIC единични кристали, са с големи размери, което ще доведе до неравномерна чистота на повърхността и вътре в графитните продукти, което не може да отговори на изискванията за използване. За да се отговори на изискванията за дълбоко пречистване на графитни продукти с големи размери, необходими за SIC единични кристали, трябва да се приеме уникален процес на пречистване на термохимичен импулс с висока температура, за да се постигне дълбоко и равномерно пречистване на графитни продукти с голям размер или специална форма, така че чистотата на повърхността на продукта да отговаря на изискванията за използване.

(2) Пореста графит
Порестият графит е вид графит с висока порьозност и ниска плътност. В процеса на растеж на кристалите SIC порестият графит играе значителна роля за подобряване на равномерността на трансфера на масови, намалявайки скоростта на появата на фазовата промяна и подобряване на формата на кристала.
Използването на пореста графит подобрява температурата и равномерността на температурата на площта на суровината, увеличава разликата в аксиалната температура в тигела, а също така има известен ефект върху отслабването на прекристализацията на повърхността на суровината; В камерата за растеж порестият графит подобрява стабилността на материалното поток през целия процес на растеж, увеличава съотношението C/Si на зоната на растеж, спомага за намаляване на вероятността за промяна на фазата и в същото време порестият графит също играе роля за подобряване на кристалния интерфейс.

(3) Чувствах
Мекото усещане и силно усещане играят ролята на важни термични изолационни материали в растежа на кристалите на SIC и епитаксиалните връзки.

(4) Графитно фолио
Графитната хартия е функционален материал, изработен от графит с високо съдържание на въглерод чрез химическо обработка и високотемпературно търкаляне. Той има висока топлопроводимост, електрическа проводимост, гъвкавост и устойчивост на корозия.

(5) Композитни материали
Термичното поле на въглерод-въглерод е едно от основните консумативи във фотоволтаичното производство на единични кристални пещи.

Производство на Semicorex

Semicorex правят графит с малки партидни, персонализирани производствени методи. Производството на малки партиди прави продуктите по-контролируеми. Целият процес се контролира от програмируеми логически контролери (PLC), подробните данни за процеса се записват, което позволява пълна проследяване на жизнения цикъл.

По време на целия процес на печене консистенцията, постигната в съпротивлението на различни места, и поддържаният контрол на температурата. Това гарантира хомогенността и надеждността на графитните материали.

Semicorex използва напълно изостатична натискаща технология, която е различна от другите доставчици; Това означава, че графитът е самият ултра униформа и се оказва особено важен в епитаксиалните процеси. Проведени са цялостни тестове за равномерност на материала, включително плътност, съпротивление, твърдост, якост на огъване и якост в различни проби.