SiC вертикални лодки

Semicorex SiC Vertical Boats са проектирани носители за пластини, проектирани и произведени, за да осигурят най-висока термична, механична и химическа стабилност за обработка на полупроводници във вертикална пещ. Изработен от висока чистотасилициев карбид, ние вярваме, че те са най-добрият баланс на здравина, издръжливост и чистота за много напреднала термична обработка на вафли, отбелязана като окисление, дифузия, LPCVD и отгряване във вертикални системи на пещ.

Средите за обработка във вертикална пещ изискват поддържаща система за пластини, която може да издържи многократно излагане на висока температура, често надвишаваща 1200°C, и да остане стабилна по размери без проблеми със замърсяване. Вертикалните лодки от SiC се отличават със своята здравина в тези ситуации поради присъщите механични и термични свойства на рекристализирания или CVD силициев карбид. Техният изключително нисък коефициент на топлинно разширение осигурява минимално изкривяване или изкривяване поради бърз термичен цикъл. В допълнение, високата топлопроводимост предлага най-голямата локална температурна хомогенност във всички вафли, което е от решаващо значение за консистенцията на вафла до вафла по отношение на дебелината на слоя, профилите на легиране и електрическите характеристики; важни аспекти на производството в голям обем в полупроводниковата индустрия.

В сравнение с традиционните кварцови лодки, SiC Vertical Boats осигуряват превъзходна механична здравина и удължен експлоатационен живот. Кварцът има тенденция да става крехък и да се дестъклира с течение на времето, особено в агресивни химикали на пещите, което води до по-високи разходи за подмяна и потенциални прекъсвания на производството. За разлика от това, силициевият карбид запазва своята цялост дори след продължително излагане на корозивни газове като хлор, HCl или амоняк, които са често срещани в различни процеси на дифузия и LPCVD. Неговата изключителна устойчивост на износване и окисляване значително намалява генерирането на частици, като помага да се предпазят повърхностите на вафлите от замърсяване и образуване на дефекти.

Вертикалните лодки от SiC също предлагат значително предимство по отношение на ултра-чистата обработка. SiC материалът с висока чистота се обработва при стриктно старание, за да се намалят разпознаваемите следи от замърсяващи метали, които могат да попречат на работните характеристики на полупроводниковите устройства. Повърхностите на SiC Vertical Boat са добре завършени с елементи под прав ъгъл, които минимизират шанса за отделяне на микрочастици. SiC повърхностите са химически инертни и не реагират с процесните газове и следователно са по-малко податливи на замърсяване. В това отношение SiC Vertical Boats са много подходящи за операции по обработка на пластини в предния край на линията (FEOL) и задния край на линията (BEOL).

SiC Vertical Boats също предлагат гъвкавост на дизайна. Всяка вертикална лодка може да бъде специфична за дизайна, за да поеме множество диаметри на пластини (150 mm, 200 mm или 300 mm пластини), а броят на слотовете и разстоянието могат да бъдат използвани, за да отговарят на изискванията на процеса. Прецизната машинна обработка и контролът на размерите позволяват правилно подравняване на пластини и опора на пластини, минимизирайки вероятността от всякакви микро-драскотини или пукнатини от напрежение по време на товарене, обработка и разтоварване. Също така, ако за конкретен процес се изисква превъзходна еднородност на температурата и/или по-малка топлинна маса, оптимизираните геометрии и дизайни на слотовете могат да бъдат включени в конфигурациите на вертикална лодка от SiC, без да се жертват никакви механични свойства.

Друго предимство е поддръжката и експлоатационната ефективност. Твърдата конструкция наSiCВертикалните лодки намаляват времето и честотата на смяна, като по този начин минимизират времето за престой или разходите за притежание. Устойчивостта на SiC на термичен удар позволява по-кратки цикли на нагряване и охлаждане, за да се осигури по-висока производителност на производствените линии. Поддръжката или почистването на SiC Vertical Boats също е много лесно; материалът може да издържи повечето конвенционални процеси на мокро или сухо почистване, често срещани в полупроводниковите фабрики, като химическо почистване с киселини и изпичане при висока температура.

В тази модерна епоха на усъвършенствано производство на полупроводници, където подобряването на добива, контролът на замърсяването и стабилността на процеса са от голямо значение, SiC Vertical Boats предлагат истинско технологично предимство. Те се справят добре с физическите и химичните предизвикателства на приложенията на вертикалните пещи и допринасят за цялостната оптимизация на процеса, като осигуряват цялост на пластините, постоянни резултати и по-дълъг живот на оборудването.