Sic вертикални лодки

Вертикалните лодки Semicorex SIC са инженерни носители на вафли, проектирани и произведени, за да осигурят най -високата топлинна, механична и химическа стабилност за обработката на полупроводници на вертикална пещ. Конструиран с висока чистотасилициев карбид, ние вярваме, че те са най -добрият баланс на здравина, издръжливост и чистота за много напреднала термична обработка на вафли, отбелязани като окисляване, дифузия, LPCVD и отгряване във вертикални пещ системи.

Средата за обработка на вертикални пещи изискват система за поддръжка на вафли, която може да издържи на многократни експозиции при висока температура, често надвишаваща 1200 ° C, и да остане на разстояние-синални стабилни без проблеми с замърсяването. SIC вертикални лодки се отличават в своята здравина в тези ситуации поради вътрешните механични и термични свойства на прекристализиран или CVD силиконов карбид. Техният изключително нисък коефициент на термично разширяване осигурява минимално изкривяване или изкривяване поради бързото термично колоездене. Освен това, високата топлопроводимост предлага най-голямата локална хомогенност на температурата във всички вафли, което е от решаващо значение за консистенцията на вафла до вафлията в дебелината на слоя, допинг профилите и електрическите характеристики; Важни аспекти на производството на голям обем в полупроводниковата индустрия.

В сравнение с традиционните кварцови лодки, SIC вертикалните лодки доставят превъзходна механична сила и разширен експлоатационен живот. Кварцът има тенденция да стане крехък и девитрифициращ с течение на времето, особено в агресивните химикали на пещта, което води до по -високи разходи за подмяна и потенциални прекъсвания на производството. За разлика от това, силициевият карбид поддържа целостта си дори след продължително излагане на корозивни газове като хлор, НС1 или амоняк, които са често срещани при различни дифузии и LPCVD процеси. Неговата изключителна устойчивост на износване и окисляване значително намалява генерирането на частици, като помага за защита на повърхностите на вафли от замърсяване и образуване на дефекти.

SIC вертикалните лодки също предлагат значителна полза по отношение на ултра-чиста обработка. SIC материал с висока чистота се обработва под строга старателност, за да се намали идентифицируемите следи замърсяващи метали, които могат да пречат на оперативните характеристики на полупроводниковите устройства. SIC вертикалните повърхности на лодката са добре завършени с дясно ъгъл функции, които свеждат до минимум шанса за проливане на микропартикули. SIC повърхностите са химически инертни и не реагират с процесорни газове и следователно са по -малко предразположени към замърсяване. В това отношение вертикалните лодки SIC са много подходящи за предния край на линията (FEOL) и задния край на линията (BEOL) операции за обработка на вафли.

SIC вертикалните лодки също предлагат гъвкавост на дизайна. Всяка вертикална лодка може да бъде специфична за дизайна, за да побере множество диаметри на вафли (150 mm, 200 mm или 300 mm вафли) и номер на слот и разстояние може да се използва за отговаряне на изискванията на процеса. Прецизната обработка и контролът на размерите позволяват правилното подравняване на вафли и поддръжката на вафли, минимизиране на вероятността от всякакви микрократи или стресирани пукнатини по време на зареждане, обработка и разтоварване. Освен това, ако за определен процес е необходима превъзходна равномерност на температурата и / или по -малко термична маса, оптимизирани геометрии и дизайни на слот могат да бъдат включени в конфигурации на вертикални лодки SIC, без да се жертват никакви механични свойства.

Друго предимство е поддръжката и оперативната ефективност. Твърдата конструкция наSicВертикалните лодки намаляват времето и честотата на подмяната, като по този начин свеждат до минимум престоя или разходите за собственост. Устойчивостта на термичен удар на SIC позволява по -къси цикли на отопление и охлаждане да осигури по -висока пропускателна способност по производствени линии. Поддръжката или почистването на SIC вертикални лодки също е много проста; Материалът може да издържи повечето конвенционални процеси на мокро или химическо почистване, често срещани при полупроводникови фабрики, като химическо почистване с киселини и високотемпературно изпечение.

В тази съвременна епоха на сложно производство на полупроводници, при която подобряването на добива, контролът на замърсяването и стабилността в процеса имат всички важни вертикални лодки предлагат истинско технологично предимство. Те се справят добре с физическите и химичните предизвикателства на вертикалните приложения на пещта и допринасят за цялостната оптимизация на процесите чрез предоставяне на целостта на вафлите, последователни резултати и по -дълъг живот на оборудването.