Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капак на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработка на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.
Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.
Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва в обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.
Входящи пръстени →
Входен пръстен за газ с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен с покритие от силициев карбид, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.
Semicorex CCB спирачките (въглеродни церамични спирачки с слой с покритие на триене) представляват следващото поколение високоефективни спирачни разтвори, проектирани за изключителна издръжливост, термична стабилност и последователно спиране при най-взискателни условия. Изберете Semicorex за неговия опит в усъвършенстваните керамични композити и прецизни инженерни технологии за покритие.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеСпирачките Semicorex CCM, изработени от усъвършенствани въглеродни-керамични матрични материали, са идеалното решение за високоефективно спиране в екстремно шофиране. Изберете Semicorex за нашия ненадминат опит в керамичното композитно инженерство, прецизно производство и ангажираност за доставяне на последователно, доказано с раса качество.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеСемикорекс керамичните композитни нагреватели доставят ултра чисти, високоефективни отоплителни показатели за взискателни приложения с висока температура. Изберете Semicorex за водеща в индустрията чистота на материала, прецизно инженерство и надеждно персонализиране, подкрепено от години на експертиза в напредналите керамични технологии.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex PBN нагревател предлага ултра чисти, високотемпературни характеристики, идеални за полупроводникови, кристални растеж и вакуумни приложения. Изберете Semicorex за ненадминат материал за чистота, прецизност на инженерството и надеждна доставка, доверена от водещи глобални производители.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеСемикорекс SIC керамичните лодки осигуряват оптималната комбинация от чистота, здравина, топло съпротивление и точност на размерите, необходими за строгите изисквания на съвременната обработка на полупроводникови вафли. *
Прочетете ощеИзпратете запитванеРъцете на роботите на Semicorex SIC са с висока точност, ултра чисти крайни ефекти, предназначени за безопасен и надежден трансфер на вафли при производство на полупроводници. Изчистени Semicorex за водеща в индустрията експертиза в напредналата керамика, осигуряване на превъзходна производителност, чистота и персонализиране, надеждни от най-високите полупроводникови фабрици по целия свят.*
Прочетете ощеИзпратете запитване