Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капак на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработка на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.
Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.
Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва в обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.
Входящи пръстени →
Входен пръстен за газ с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен с покритие от силициев карбид, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.
Semicorex sic вакуумни патрони са високоефективни керамични приспособления, предназначен за сигурна адсорбция на вафли при производство на полупроводници. С превъзходни топлинни, механични и химични свойства той осигурява стабилност и прецизност в взискателни процесорни среди.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеКомпозитните нагреватели Semicorex PBN са напреднали отоплителни елементи, проектирани за високотемпературна, ултра чиста вакуумна среда, широко използвани в полупроводниковите, оптоелектрониката и индустриите за материали. Изберете Semicorex за водещ в индустрията експертиза, персонализиране на малки партиди и качество от световна класа в решения за отопление на PBN.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SIC конзолни гребла са високоефективни силиконови карбидни конзолни гребла, използвани в оборудване за полупроводниково термична обработка, предназначено за стабилна обработка на вафли във високотемпературна среда. Изборът на Semicorex означава избор на материали с висока чистота, отлична термична стабилност и водеща в индустрията технология за прецизно производство, за да се гарантира, че всеки ваш критичен процес е стабилен и надежден.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеПритежателите на лодки Semicorex SIC са основни структурни компоненти, които гарантират прецизно и надеждно позициониране на вафли при топлинна обработка на полупроводници. Изберете Semicorex за несравнимо качество, техническа експертиза и ангажимент за усъвършенстване на SIC решения с висока чистота в производството на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеЛодките с вафли Semicorex са прецизно проектирани керамични носители, предназначени за високотемпературна обработка на вафли при производство на полупроводници. Изберете Semicorex за неговата несравнима чистота на материала, усъвършенствана технология за производство и ангажираност към качеството, която осигурява постоянна ефективност в най -взискателните среди в чиста стая.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SIC тръбите са тръби от силициев карбид, проектирани за полупроводникови процеси с висока температура, с отлична термична стабилност и химическа устойчивост на корозия. Избор на суровини с висока чистота Semicorex, прецизни процеси на производство и дългосрочни гаранции за надеждност, за да осигурите солидна подкрепа за вашия процес на производство на полупроводникови производствени.*
Прочетете ощеИзпратете запитване