Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капак на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработка на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.
Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.
Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва в обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.
Входящи пръстени →
Входен пръстен за газ с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен с покритие от силициев карбид, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.
Semicorex силициев карбид плоска мембрана е високоефективен разтвор на керамична филтрация, известен със своята изключителна химическа устойчивост, термична стабилност и превъзходна ефективност на филтрация. Изборът на Semicorex означава да изберете водеща в индустрията технология, подкрепена от авангардни производствени процеси и ангажимент за предоставяне на надеждни, рентабилни решения, които отговарят на най-трудните предизвикателства за филтрация.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеКомпозитна мембрана на Semicorex силиций е усъвършенстван разтвор за филтриране, комбиниращ превъзходните свойства на силициев карбид, алуминиев оксид и калциев оксид, за да се осигури високоефективна филтрация в широк спектър от индустрии. Semicorex е надеждният избор за тази авангардна технология, предлагаща несравнимо качество, надеждност и пригодени решения, които гарантират оптимална ефективност и дългосрочна производителност за вашите нужди от филтрация.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex силиконов карбиден мембрана е напреднали филтрационни разтвори, предлагащи превъзходни химически, топлинни и механични съпротивление, идеални за взискателни индустриални приложения. Изберете Semicorex за нашите висококачествени, трайни мембрани, които доставят дълготрайна производителност, ефективност и надеждност, осигурявайки оптимални резултати във всеки процес на филтрация.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеMembrane Semicorex SIC е високоефективен разтвор на керамична филтрация, направен от силициев карбид с висока чистота, предназначен за предизвикателни приложения за индустриална филтрация. Изберете Semicorex за надеждни, издръжливи и ефективни SIC мембрани, които доставят изключителна производителност и дългосрочна стойност дори в най-взискателните среди.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеVacuum Chucks Semicorex са идеалното решение за обработка на вафли в полупроводници и прецизни индустрии. С различни опции за основен материал, персонализиране на керамични плочи и прецизен контрол на плоскостта, нашите вакуумни патрони гарантират надеждна стабилност на вафли и отлични резултати от процеса. Създадени да отговарят на строгите изисквания на съвременното производство на полупроводници, тези патронници осигуряват несравнима ефективност, като гарантират, че вашите процеси остават ефективни и рентабилни.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеPoricorex Porous SIC Vacuum Chuck е предназначен за прецизна и надеждна обработка на вафли, предлагайки опции за персонализирани материали за задоволяване на широк спектър от нуждите на полупроводниковите обработки. Изберете Semicorex за неговия ангажимент за висококачествени, трайни решения, които осигуряват оптимална производителност и ефективност във всяко приложение.*
Прочетете ощеИзпратете запитване