Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, която осигурява превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори термична еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капак на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработка на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.
Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.
Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва в обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.
Входящи пръстени →
Входен пръстен за газ с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен с покритие от силициев карбид, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.
Microporex Microporor Sic Chuck е Semicorex, е високо прецизен вакуум патрон, предназначен за сигурно обработка на вафли в полупроводникови процеси. Изберете Semicorex за нашите персонализирани решения, превъзходен избор на материали и ангажираност към прецизността, като осигурите оптимална ефективност в нуждите от обработка на вафли.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Porous Ceramic Chuck (вакуумен патронник) е високо прецизен инструмент, предназначен да държи сигурно пластини по време на производствени процеси на полупроводници. Избирайки Semicorex, вие се възползвате от решение, което предлага изключителна производителност, издръжливост и опции за персонализиране, гарантирайки повишена производствена ефективност и постоянни стандарти за качество.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеВакуумните патронници Semicorex Alumina са прецизно проектирани компоненти, предназначени да задържат сигурно пластини или субстрати по време на критични полупроводникови и прецизни производствени процеси. С ангажимента на Semicorex за висококачествени материали и авангардни производствени техники, нашите алуминиеви вакуумни патронници осигуряват несравнима надеждност, прецизност и производителност за вашите най-взискателни приложения.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеВакуумният патронник Semicorex е високоефективен компонент, предназначен за сигурно и прецизно боравене с пластини в производството на полупроводници. Изберете Semicorex за нашите усъвършенствани, издръжливи и устойчиви на замърсяване решения, които осигуряват оптимална производителност дори при най-взискателните процеси.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Silicon Carbide Sleeve обикновено се използва като устойчива на износване и корозия облицовка за оборудване като цилиндри, помпи, клапани, плъзгащи лагери и барабани за мелница.
Прочетете ощеИзпратете запитванеИзолационният пръстен от алуминиев оксид Semicorex се използва като изолатор в различни електрически компоненти, неговите отлични електроизолационни свойства осигуряват надеждна работа в приложения, където предотвратяването на електрическата проводимост е от съществено значение.
Прочетете ощеИзпратете запитване