Силиконови лодки

Силиконовите лодки Semicorex са специализирани компоненти, използвани предимно във високотемпературен растеж на кристали, производство на полупроводници и свързани фотоволтаични сектори. Те са конструирани от силиций с висока чистота и са направени за задържане на вафли, субстрати или суровини по време на термична обработка. Това гарантира, че процесът се осъществява в чиста среда и контролирана среда, което е невероятно важно за гарантиране на материалите да поддържат чистота и надеждни характеристики без замърсяване.

Те се правят с помощта на усъвършенствани техники за формиране и синтероване, силиконовите лодки ще осигурят превъзходна точност на размерите и превъзходно гладко покритие на повърхността. Това е от решаващо значение за постигането на равномерно нагряване на компонентите, заредени върху субстрата или лодката, което осигурява ниски термични градиенти и дефекти по време на цикли на отопление и охлаждане. Освен това, те имат висока точка на топене на силиций, което означава, че лодката може да издържи екстремни температури по време на всеки процес (като дифузия, окисляване, епитаксия) без деформация или разграждане на материала. И накрая, те имат нисък коефициент на термично разширение за силиций, който също осигурява механична стабилност и намалява вероятността от напукване и изкривяване при взаимодействие с бързи топлинни промени.

Едно от основните предимства, свързани със силиконовите лодки, е тяхната висока химическа инертност. В агресивни процесорни среди силициевите лодки не се атакуват от халогени, киселини и реактивен газ, осигурявайки значителна застраховка, че лодката няма да претърпи разграждане на повърхността или ще генерира променливост в замърсителите в камерата за обработка, която може да застраши добива и качеството на продукта. Чистотата на материала, която може да надвиши> 99,999% чистота, също е изключително важна при производството на полупроводници, тъй като наличието на дори минутни количества замърсители може драстично да повлияе на електрическите свойства на крайните устройства.

В допълнение към частта за растеж на сливането на процеса, силициевите лодки се използват в повечето стъпки за производство на вафли - и те служат като надеждни и предсказуеми носители на силициеви субстрати по време на процесите на пречистване на топлината. Силиконовите лодки излагат всяка проба на идентично отопление и време на експозиция - консистенцията е от ключово значение за поддържане на качеството на кристалите. Те могат да бъдат реализирани и с всички видове дизайни на пещта и обработка на атмосфери, което го прави продукт с универсално приложение към повечето линии за обработка. Гладките повърхности на вътрешните отделения осигуряват по -малко увреждане на по -тънката механична структура на вафли в сравнение с други наистина груби повърхности, което допринася за по -ниски рискове от микрофрактури, като същевременно повишава крайната скорост на добив.

Силиконовите лодки са жизненоважни за производството в процесите на дифузия на полупроводниковата индустрия или йонните имплантиране, където вафлите трябва да се контролират точно в ръба на лодката, по страничната страна и еднакво нагряване. Якостта и топлинната проводимост на силиций дават на производителя достатъчна разделителна способност да контролира температурите на процеса, за да се сведе до минимум времето на цикъла и да оптимизира ефективността на цялостния процес. Инертността на материала няма да корумпира взаимодействието с газови форми на допанти, позволяващи строг контрол на допинг профилите.

Силиконовите лодки могат да бъдат проектирани през май, различни форми и размери, които включват плоски, нарязани и разнообразни персонализирани форми, които отговарят на изискванията на процеса на отделен производител. Има няколко варианта за персонализиране, включително дебелина на стената, ширина на слота и дизайни, които изпълняват различен брой вафли с различни размери. Тези опции позволяват на производителя да контролира топлинния поток, максималния капацитет на лодките и натоварването/разтоварването на лодките.

Друга зона, в която ползите от повърхността на силиконовата лодка са поддържането на лодките и техния полезен живот. По принцип силициевите лодки осигуряват траен експлоатационен живот, като същевременно поддържат няколко процедури за обработка и почистване за редовно почистване на лодки в зони с висока температура, където те виждат много „бърз топлинен колоездене“. С добре поддържана структура честотата на подмяна ще намали, което ще доведе до по-ниска цена на операциите и време за намаляване.

Силиконовите лодки са от решаващо значение за съвременното полупроводниково и слънчево производство, където контролът върху процесите и предотвратяването на замърсяване е от ключово значение. Чистотата, топлинната стабилност, механичната издръжливост и химическата стабилност на силициевите лодки позволяват използването им в процеси, които имат взискателни изисквания. Независимо дали в лабораторна среда или по -голяма индустриална практика, силиконовите лодки могат да предложат постоянни и надеждни показатели по начини, които подобряват качеството на продукта, подобряват добива и повишават ефективността.

Максимизирането на тези предимства започва с намирането на висококачествен доставчик на силициеви лодки. Производителите на доставчици, които имат добър контрол на качеството, прецизна обработка и установяват чисти материали, са в състояние да осигурят силиконови лодки, които не могат да бъдат измерени само за точни детайли, граници на размерите и качество на повърхността, но произвеждат силиконови лодки, които са направени от чист материал за дълготрайна работа и надеждност при почти всяка употреба на приложение. Помощната полезност на силициевите лодки при идентифициране на производството на силиций с някои от най-сложните приложения и полупроводниковите устройства от следващо поколение и високоефективните PV слънчеви клетки се произвеждат с използването на силиконови лодки.