Sic тръби

Semicorex sic тръбите са керамични части за системи за пещ на полупроводници.  Те имат уникални свойства, които включват високо термично предаване и високотемпературна и химическа устойчивост, които се изискват при полупроводникови приложения, където се очаква екстремни условия на високотемпературна и химическа околна среда и където свойствата са желани - издръжливост, енергийна ефективност и уникални стабилни условия на процеса - което позволява да се използват икономически в напредналите полупроводници.

Semicorex sic тръбите използват фино зърно с висока чистотасилициев карбидТова се произвежда, за да има изключителна механична стабилност на високотемпературата в резултат на усъвършенствани методи и техники за прекристализация и прекристализация. Разрешаването на високоефективната SIC води до изключителна механична якост и задържане на термична стабилност при високи работни температури. SIC има изключителна твърдост, която смекчава износване или потенциална деформация.  Освен това, атрибутите, свързани с свойствата на SIC, са с ниско гориво коефициент на термично разширение, са полезни, тъй като те ограничават топлинния стрес, тъй като ще има изисквания за колоездене на този материал между екстремна висока и ниска работна топлина. Във всички тези съображения те имат специална полезност за идеални приложения в дифузионни пещи, окислителни пещи и LPCVD/PECVD системи за поддържане на максимални условия на стабилни процеси са от полза за елиминиране или ограничаване на дефекти, които също са показатели, свързани с вафла или материал с високо стабилни, равномерни условия на процеса.

Друга важна полезност на SIC тръбите са високите профили на термична проводимост при специфични условия и приложимите проекти на пещта за производство на високи скорости на проводимост и от съществено значение, равномерно и стабилно разпределение на температурата в целия процес.  Това надеждно поведение позволява на вафрите да бъдат изложени на полурадовни температурни разпределения в разумни интервали от време и допълнително да се ограничат термичните градиенти за смекчаване на изкривени и/или дефектирани вафли, като същевременно подобряват по-равномерните условия на отлагане на филма.

Химическата стабилност и устойчивост е друг важен фактор на ефективността.  В полупроводниковите процеси пещта тръба се подлага на влиянието на силно реактивни газове, включително кислород, водород, амоняк и всички халогени, които могат да разграждат конвенционалните материали бързо. Плътната и непорьозна микроструктура, заедно с химически инертната природа на SIC, я предпазва от окисляване и корозия, като същевременно осигурява оперативни и механични показатели в екстремната обработка.  Издръжливостта на SIC пещите им помага да поддържат целостта на формата и точността на размерите за дълги периоди от време, което е важно за контрола и стабилността на процесите.

SIC тръбите могат да се произвеждат в широка гама от размери и дебелини на стените, геометрично оформени, за да се поберат дизайна на пещта и нуждите на процесите.  По време на проектирането и производството на SIC тръби също се поддържат точни прецизни характеристики, така че оперативните отклонения могат да бъдат стегнати, с гладки вътрешни повърхности и отлична концентричност за поддържане на баланс на ламинарен поток на газ и равномерни термични профили. Повърхностното полиране и покрития могат да бъдат осигурени като опции за лечение, които ще повишат производителността чрез намаляване на генерирането на частици и подобряване на устойчивостта на корозия.

SIC тръбите имат ясни оперативни и разходи предимства в сравнение с алтернативни материали като кварцови или алуминиеви тръби.  Първоначалната цена за компонентите на SIC може да е малко по -висока, но животът на продукта, намаляването на счупването и по -ниските изисквания за поддръжка води до обща цена на собственост, което е по -ниски разходи от алтернативните материали и тръби.

В заключение, semicorexSicТръбите са най -добрият вариант за приложения за полупроводници, тъй като осигуряват най -добрите топлинни показатели, механична якост, химическа устойчивост и надеждност за взискателна производствена среда. Този материал подобрява стабилността на процеса и подпомага икономия и ефективността на разходите надолу (т.е. по-ниска консумация на енергия). SIC тръбите са основен материал за съвременна производство на полупроводници.