Силиконови касетни лодки

Силиконовите касетъчни лодки, изработени от ненадминат поликристален силиций с висока чистота или монокристален силиций, имат следните предимства:

1. ултра ниско замърсяване с примеси: 

Техните материали споделят същия химически състав като пренасяните пластини, минимизирайки нежеланите примесни йони по време на високотемпературни процеси.

2. Превъзходна термична стабилност: 

Те са в състояние да издържат на недеформиране и да поддържат прецизно разстояние за продължително излагане на висока температура (около 1250°C), като по този начин осигуряват стабилна опорна платформа за вафлите.

3.Отлични механични свойства: 

Те са по-устойчиви на удар и са по-малко склонни към счупване при товарене и разтоварване от кварцовите лодки.

4. Дълъг експлоатационен живот: 

Без повърхностно покритие, техните повърхностни материали няма да се отлепят дори когато са изложени на предизвикателни среди с висока температура за дълго време.

Semicorex силицийкасетни лодкиса малки опорни и трансферни носители за вафли, които са съвместими с 4-инчови и 6-инчови хоризонтални високотемпературни пещи. Интегрираният оформен структурен дизайн избягва пролуката при снаждане и структурните слабости на ставите, като значително намалява рисковете от напукване, причинено от механично въздействие, химическа корозия или термичен стрес. Силиконовите касетъчни лодки са добре съвместими с процедури за високотемпературно третиране като окисление, дифузия, отгряване и високотемпературно почистване, което се дължи до голяма степен на авангардната технология за обработка на Semicorex.

Силиконовите касетъчни лодки Semicorex поддържат персонализирани настройки от висок клас за нашите уважаеми клиенти, включително аспекти като форма на лентата на канала, дължина на зъбите на канала, профил, ъгъл на наклон и общ капацитет за зареждане на пластини. Този персонализиран дизайн гарантира, че пластините са прецизно подредени на фиксирани интервали в силициеви касетъчни лодки, ефективно смекчавайки позиционното отклонение и неравномерното нагряване по време на обработка и по този начин предотвратява увреждане на електрическата производителност на чипа или дори пълна повреда на чипа. За да се гарантира, че клиентите получават висококачествени продукти, силиконовите касетъчни лодки на Semicorex трябва да преминат строги проверки на качеството, включително точност на размерите, свойства на материала, плоскост на повърхността, цялостна чистота и остатъчно напрежение.