SiC технологични тръби

Процесните тръби Semicorex SiC са важните структурни компоненти в процеса на окисление, дифузия, RTA/RTP в производствения процес на полупроводници. Обикновено това е тръба с голям диаметър като пространство на пещта на реактора, всички химически процеси ще се случват вътре. Така че здравината, устойчивостта на термичен шок са много основни точки за продукта.

Процесните тръби от SiC са произведени отсинтерован силициев карбид, може да бъде SiSiC, SSiC или RSiC и CVD SiC покритието на повърхността, което ще образува слой с ултрависока чистота. Може да предотврати замърсяването от частици, пепел и т.н. И материалът има много висока устойчивост на термичен удар, така че SiC процесните тръби могат да останат стабилни при висока температурна устойчивост и да предотвратят утаяването на примесите при високи температури и по този начин да замърсяват околната среда.

Тези SiC технологични тръби са предназначени за използване в атмосфери с реактивен газ (кислород), защитен газ (азот) и минимални количества газ хлороводород и предлагат изключителна химическа устойчивост, термична стабилност и чистота на материала до 1250°C. Процесните тръби Semicorex SiC съчетават най-съвременното производство на 3D печат с покритие от химическо отлагане на пари (CVD), за да осигурят превъзходна производителност и продължителност на живот при най-екстремните термични и химични условия.

Процесните тръби Semicorex SiC се произвеждат чрез интегриран процес на формоване с 3D печат, а не чрез конвенционална пресована или сглобена тръба. Този производствен процес позволява непрекъсната, последователна структура на керамика без фуги и слаби зони, създавайки висока степен на сложност и прецизност на размерите, което може да облекчи концентрациите на напрежение, като същевременно повишава механичната якост. Освен това, монолитната структура осигурява непропускливо за природен газ уплътнение, намалявайки замърсяването и изтичането по време на високотемпературни процеси.

TheSiC керамикана тялото е материал с изключително ниско съдържание на примеси (< 300 ppm), осигуряващ отлична чистота на материала и стабилност за реактивни атмосфери. В допълнение, тръбата е покрита със слой от силициев карбид CVD (< 5 ppm) за подобряване на устойчивостта на корозия и повърхностната защита.

Semicorex предоставя персонализирана услуга, ние можем да произвеждаме според чертежите на клиентите, за да отговорим на изискванията за необходимите спецификации. Така че процесните тръби Semicorex SiC могат да бъдат алтернативно подходящи не само за хоризонтални пещи, но и за вертикални пещи.