Като професионален производител бихме искали да ви предоставим полупроводникови компоненти. Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.
Компонентите с високочисто SiC покритие са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от графитни консумативи за горещи зони за отглеждане на кристали (нагреватели, тигели, изолация) до високопрецизни графитни компоненти за оборудване за обработка на пластини, като например графитни приемници с покритие от силициев карбид за епитаксия или MOCVD.
Предимства за полупроводникови процеси
Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя графитна конструкция с покритие от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.
Капаци на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.
Краен ефектор →
Крайният ефектор е ръката на робота, която движи полупроводникови пластини между позициите в оборудването за обработка на пластини и носителите.
Входящи пръстени →
Газов входен пръстен с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.
Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен със силициево-карбидно покритие, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.
Semicorex Silicon Pedestal Boat е 9N носител за пластини със свръхвисока чистота, проектиран за прецизна и стабилна поддръжка на пластини при високотемпературно окисление, дифузия и LPCVD процеси. Изберете Semicorex за несравнима чистота на материала, прецизна обработка и доказана надеждност*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSilicon Injector Semicorex е тръбен компонент със свръхвисока чистота, проектиран за прецизно и без замърсяване доставяне на газ в LPCVD процеси на отлагане на полисилиций. Изберете Semicorex за водеща в индустрията чистота, прецизна обработка и доказана надеждност.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Silicon Wafer Boat е носител с висока чистота, предназначен за полупроводникови високотемпературни пещи, поддържащ пластини по време на процеси на окисление и редукция при 1200–1250 °C. Semicorex предоставя превъзходни продукти, ултра-чиста производителност и надеждни резултати, които директно повишават производителността на устройството.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Silicon Shield Ring е силициев компонент с висока чистота, проектиран за усъвършенствани системи за плазмено ецване, служещ както като защитен екран, така и като спомагателен електрод. Semicorex осигурява изключително чиста производителност, стабилност на процеса и превъзходни резултати от ецване с прецизно проектирани полупроводникови компоненти.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Ceramic Paddle е конзолен компонент с висока чистота, проектиран за полупроводникови високотемпературни пещи, използвани предимно в процеси на окисляване и дифузия. Изборът на Semicorex означава получаване на достъп до усъвършенствани керамични решения, които осигуряват изключителна стабилност, чистота и издръжливост за критични приложения за обработка на пластини.*
Прочетете ощеИзпратете запитванеЧастите Halfmoon с покритие от SiC от Semicorex са прецизно проектирани компоненти, проектирани като основни елементи на епитаксиално оборудване, където две секции с форма на полумесец се комбинират, за да образуват цялостно ядро. Изборът на Semicorex означава осигуряване на надеждни, с висока чистота и трайни решения, които осигуряват стабилна поддръжка на пластини и ефективна топлопроводимост за усъвършенствано производство на полупроводници.*
Прочетете ощеИзпратете запитване