Поли-Si шлицови пръстени

Поли-Si прорезните пръстени обикновено се инсталират в реакционната камера на усъвършенствано оборудване за ецване на полупроводници. Те работят синергично със силициеви части, включително силицийпръстени за фокусиране, силиконови външни пръстени и силицийдушове. Тези части могат да създадат стабилна и оптимална реакционна среда за процеса на ецване, осигурявайки отлично качествоофортпрецизност и последователност на процеса.

Функции на прорезните пръстени Semicorex poly-Si

1. Пръстените с прорези Semicorex poly-Si са снабдени с множество равномерно разпределени процепи, които служат като газови проходи, които позволяват плавно изпускане на технологичните газове след реакцията.

2. Пръстените с прорези от поли-Si Semicorex са в състояние да постигнат отличен контрол на плазмата, предлагайки надеждна защита за реакционната камера на оборудването за ецване на полупроводници.

3. Semicorex poly-Si прорезни пръстени могат да помогнат за регулиране на електрическото поле и налягането в камерата, като по този начин предотвратяват нестабилността да повлияе на консистенцията на процеса на ецване.

Висококачествен избор на материали

Пръстените с прорези Semicorex poly-Si са произведени от висококачествен поликристален силиций с ниво на чистота над 99,9999%, което им придава превъзходни свойства, както следва.

1. Свръхвисока чистота и изключително ниско съдържание на примеси.

2. Изключителна устойчивост на плазмена корозия.

3. Благоприятни електрически свойства, с еднакво съпротивление: RRG ≤ 5%, ниска разделителна способност. (<0,02), средна рез. (1–4) и висока рез. (70–90).

Производствени възможности и контрол на качеството

Оборудван с усъвършенствано машинно оборудване и опитен технически екип, Semicorex стриктно контролира всеки производствен процес и предлага висококачествени и добре съчетани поли-Si прорезни пръстени на нашите уважаеми клиенти. В допълнение, Semicorex провежда строг контрол върху измерването на размерите, тестването на съпротивлението и визуалната проверка на готовите пръстени с прорези от поли-Si, за да гарантира, че нямат дефекти като стружки, драскотини, пукнатини и петна.