Силиконови гравиращи пръстени

Силиконовите ецващи пръстени са основните компоненти в камерата за плазмено ецване на CCP/ICP оборудването за ецване и обикновено се поставят около полупроводниковата пластина. Техните основни функции са да поддържат полупроводниковата пластина, да поддържат равномерно разпределение на плазмата, да защитават ръба на пластината и по този начин да помогнат за създаването на оптимални работни условия за процеса на плазмено ецване.

Предимства на силиконовите ецващи пръстени Semicorex

1. Премиум избор на материали

Силициевите ецващи пръстени Semicorex се произвеждат от внимателно подбран MCZ с висока чистотамонокристален силиций, който предлага следните отлични свойства в сравнение с конвенционалния CZ монокристален силиций.

Висока чистота: Чистотата е над 99,9999999%, което означава, че силициевите ецващи пръстени Semicorex почти не съдържат примеси. Тази ултра-висока чистота може ефективно да избегне намесата от компонентни примеси по време на процеса на ецване, като по този начин гарантира висока прецизност на ецване.

Стабилна структура: MCZ монокристален силиций се характеризира с превъзходна кристална структура с по-малко дефекти в сравнение с конвенционалния CZ монокристален силиций. Тази стабилна кристална структура дава на силициевите ецващи пръстени Semicorex повишена корозионна устойчивост срещу плазмена корозия и им позволява да издържат на тежки работни условия на ецване.

Отлична равномерност на съпротивлението:Силиконови ецващи пръстени Semicorexосигуряват изключителна равномерност на устойчивостта с RRG < 5%. Ниска резолюция (<0,02 Ω·cm), средна рез. (0,2–25 Ω·cm), висока рез. (>100 Ω·cm). Тази отлична еднородност на съпротивлението може да минимизира неравномерното разпределение на плазмата, причинено от прекалено високо или ниско съпротивление, което допринася за идеално електрическо поле за високопрецизно плазмено ецване.

2. Прецизна обработка и стриктна проверка на качеството

Semicorex може да се похвали с опитен технически екип, който може да осигури персонализирано персонализиране и технически оценки за нашите уважаеми клиенти и също така е установил систематични процедури за обработка и проверка, за да гарантира качеството на продукта.

Гъвкави услуги за персонализиране: Semicorex поддържа персонализиране въз основа на чертежи на клиента, а максималният персонализиран диаметър на силиконовите пръстени за ецване може да бъде до 470 mm.

Високостандартна повърхностна обработка: Прецизността на полиране може да бъде стриктно контролирана в рамките на Ra < 0,1 µm, а финото шлайфане постига повърхностно покритие от Ra > 0,1 µm.

Строга проверка на качеството: Измерването на размерите, тестването на съпротивлението и визуалната проверка ще бъдат направени, за да се гарантира, че пръстените за гравиране на силиций нямат чипове, драскотини, пукнатини, петна и други дефекти.