Силициеви извити електроди

По време на усъвършенстваното оборудване за ецване, силициевият извит електрод обикновено се монтира в горната част на камерата за ецване, обърнат към полупроводниковата пластина. Силиконовият извит електрод обикновено работи във връзка с електростатичния патронник, Si фокусиращ пръстен, Si краен пръстен, Si изпускателен пръстен и Si екраниращ пръстен, за да осигури оптимални работни условия за високо прецизно ецване.

Функции на силиконовите извити електроди Semicorex

1. Съвместим с ецване на сложна 3D структура

С изключителна 3D способност за контрол на електрическото поле, Semicorexсиликонови извити електродиможе перфектно да съответства на геометричните характеристики на сложни структури. Специалният извит дизайн позволява прецизен контрол на плазмата и оптимизирано разпределение на енергията, което значително влияе на съотношението на страните и вертикалността на страничната стена на ецването на 3D структура и напълно отговаря на изискванията на производствената линия за усъвършенствани процеси на опаковане и 3D IC интеграция.

2. Прецизен контрол на разпределението на ецващ газ

Извитите силиконови електроди Semicorex разполагат с множество равномерно разпределени микро-отвори на повърхността си за навлизане на ецващ газ в камерата за ецване. Извитите силиконови електроди Semicorex могат да постигнат прецизен контрол върху ецващия газ и да му позволят да бъде равномерно разпределен в камерата за ецване, като по този начин минимизират вариациите на процеса, причинени от неравномерно разпределение на газа.

Предимства на силиконовите извити електроди Semicorex

1. Свръхвисока чистота

Извитите силиконови електроди Semicorex са направени от монокристал с ултрависока чистотасилицийс ниво на чистота над 99,9999999%, предлагащо изключителна устойчивост на плазмена ерозия. Този избор на материал с висок стандарт може ефективно да избегне нежелано замърсяване в резултат на странични продукти от ецване, като същевременно значително удължава експлоатационния живот на силиконовите извити електроди.

2. Отлични електрически свойства

Произведени от монокристален силиций, отгледан в MCZ, силиконовите извити електроди Semicorex показват превъзходна еднородност на съпротивлението: <5% и широк диапазон на избираемо съпротивление: ниска разделителна способност. (<0,02), средна рез. (1–4) и висока рез. (70–90).

3. Прецизна точност на обработка

Чрез високопрецизна механична обработка силиконовите извити електроди Semicorex постигат постоянен размер на порите и равномерно разпределение на отворите. Повърхностите им са фино полирани и шлифовани: полирани (Ra < 0,1 μm) и шлифовани (Ra < 1,6 μm), с цялостна прецизност на обработка, контролирана в рамките на 0,03 mm.