SiC ток за MOCVD

Semicorex е водещ производител и доставчик на SiC Susceptor за MOCVD. Нашият продукт е специално проектиран да задоволи нуждите на полупроводниковата индустрия при отглеждане на епитаксиалния слой върху пластинковия чип. Продуктът се използва като централна плоча в MOCVD, със зъбно колело или пръстеновиден дизайн. Има висока устойчивост на топлина и корозия, което го прави идеален за използване в екстремни среди.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият SiC Susceptor за MOCVD е продукт с най-високо качество, който има няколко ключови характеристики. Осигурява покритие върху цялата повърхност, като избягва отлепването и има устойчивост на окисление при висока температура, осигурявайки стабилност дори при високи температури до 1600°C. Продуктът е произведен с висока чистота чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране. Има плътна повърхност с фини частици, което го прави силно устойчив на корозия от киселина, основи, сол и органични реагенти.
Нашият SiC Susceptor за MOCVD е проектиран да гарантира най-добрия модел на ламинарен газов поток, гарантиращ равномерност на топлинния профил. Предотвратява всякакво замърсяване или дифузия на примеси, осигурявайки висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип.

Параметри на SiC Susceptor за MOCVD

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC Î² фаза
Плътност	g/cm³	3.21
твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	Î¼m	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J·kg-1 ·K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (4pt огъване, 1300 â)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на SiC Susceptor за MOCVD

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на окисление при висока температура: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси