1x2" графитни вафлови фиксатори

При производството на полупроводникови пластини се изисква епитаксиалният слой да бъде отгледан върху субстрата на пластината за последващото производство на полупроводникови устройства. Тъй като процесът на епитаксиален растеж е силно чувствителен към температурни колебания и замърсяване, изборът на надежднивафлени приемнициса критично важни. Като незаменими поддържащи части в епитаксиалния процес на пластини, прецизността на обработката, способността за термично управление и ефективността на устойчивост на замърсяване са решаващи фактори за постигане на висококачествен епитаксиален растеж на пластини.

Функциите на Semicorex 1x2" графитни пластинови фиксатори

Изработени от ултра фин зърно графит с висока чистота като тяхна матрица с плътно покритие от силициев карбид чрез специални процеси, Semicorex 1x2" графитни вафлови приемници осигуряват следните функции:

1. Сигурно и застояло стопанство

Semicorex 1x2"графитфиксаторите за пластини се характеризират с прецизна обработка и обработка, осигурявайки изключителна плоскост на повърхността и точност на размерите. Това гарантира, че те са здраво закрепени в подходяща позиция и осигурява стабилна, плоска опорна платформа за епитаксиален растеж на пластини.

2. Прецизно равномерно разпределение на топлината

С отличната топлопроводимост на графитните и SiC материалите, Semicorex 1x2" графитни пластинчати приемници осигуряват бързо и равномерно разпределение на топлината в полупроводниковото вещество. Чрез минимизиране на температурните градиенти, Semicorex 1x2" графитни пластинкови приемници могат ефективно да избегнат проблеми като неравномерно епитаксиално качество и концентрация на напрежение.

Предимствата на покритието от силициев карбид Semicorex

1. Превъзходна устойчивост на корозия

Покрити с плътно силициево-карбидно покритие, Semicorex 1x2" графитни пластинчати фиксатори са ефективно устойчиви на повечето химикали, което ги прави подходящи за приложения при силно корозивни работни условия, където материалът често е изложен на корозивни газове и химически изпарения.

2. Ниско отделяне на частици

Semicorexпокритие от силициев карбидима висока якост на свързване с графитната матрица, което може значително да избегне риска от замърсяване на субстрата поради отлепване на покритието поради корозия и отпадане на частици, причинено от среда с висока корозия.

3.Надежден експлоатационен живот

Въпреки че графитните матрици показват отлична термична стабилност и механична якост, те са склонни към корозия и пулверизация при работни условия на епитаксиален процес, което значително скъсява живота на непокритите графитни матрици. Чрез пълното капсулиране на графитните матрици с плътни SiC покрития, нашите 1 × 2" графитни пластинчати приемници постигат превъзходна и надеждна издръжливост.

Данни за материала на Semicorex SiC покритие