Планетарни фиксатори с покритие от SiC

Планетарните фиксатори с покритие Semicorex SiC са незаменим поддържащ компонент, предназначен за епитаксиален растеж на полупроводници в оборудването Aixtron G2, в което те са в състояние да поддържат сигурно пластини и да се въртят по начин на планетарно движение. По този начин може успешно да се постигне прецизна топлинна еднородност и равномерно разпределение на газа по повърхността на пластината, което води до отлагане на епитаксиален слой с първокласно качество върху пластините.

Предимства на планетарните фиксатори, покрити със SiC Semicorex

1. Дизайн на джоб с множество вафли

Semicorex SiC покритиепланетарни носителиразполагат с равномерно разпределение на няколко вафлени джоба с прецизно контролирани размери. Тези джобове за пластини са в състояние да държат здраво субстратите за пластини по време на процеса на епитаксиален растеж, което може ефективно да минимизира вариациите на епитаксиалния процес, причинени от нежеланото движение на субстратите за пластини. В допълнение, този дизайн с джобове за множество пластини позволява множество субстрати за пластини да бъдат подложени на епитаксиално отлагане едновременно в един процес, подобрявайки значително цялостната ефективност на процеса на епитаксиален растеж.

2. Оптимизирано разположение на отворите за газовия поток

Semicorex включва внимателно проектиран набор от канали за газов поток в свояSiC-каотиранпланетарни фиксатори, което усъвършенства оптимизирането на динамиката на газовия поток и топлинната еднородност по повърхността на пластината през целия епитаксиален процес. Този обмислен дизайн позволява точен контрол върху скоростта на газовия поток и разпределението в реакционната камера, което е от съществено значение за постигане на висококачествени тънки филми, еднаква дебелина на слоя и надеждна цялостна работа на устройството.

3. Изключително висока чистота

Планетарните токоприемници с SiC покритие от Semicorex се произвеждат с материали с ултрависока чистота и изключително ниски нива на примеси, като напълно отговарят на строгите изисквания за чистота при производството на полупроводници. Те ефективно минимизират замърсяването на пластините, причинено от отделяне на метални газове, дори при висока температура и корозивни условия, типични за епитаксиалните процеси.

4. Дълготраен експлоатационен живот

Контролът на качеството на Semicorex започва с нашия строг подбор на суровини. Покритите със SiC планетарни токоприемници са прецизно произведени от полупроводников клас графит и силициев карбид, предлагащи отлична устойчивост на висока температура и устойчивост на корозия, което ги прави перфектно да издържат на предизвикателните високотемпературни, силно корозивни епитаксиални работни условия. С тези отлични свойства на материала планетарните фиксатори с покритие Semicorex SiC могат да запазят постоянната си производителност и структурна цялост и да избегнат повреда на повърхността си и намаляване на производителността при високотемпературни и силно корозионни реакционни камери, което значително удължава експлоатационния живот на планетарните фиксатори с покритие от SiC.