Можете да бъдете сигурни, че ще закупите полупроводников носител за пластини за MOCVD оборудване от нашата фабрика. Носителите на полупроводникови пластини са основен компонент на MOCVD оборудването. Те се използват за транспортиране и защита на полупроводникови пластини по време на производствения процес. Носачите за полупроводникови пластини за MOCVD оборудване са изработени от материали с висока чистота и са проектирани да поддържат целостта на пластините по време на обработка.
нашият носач на полупроводникови пластини за MOCVD оборудване е съществен компонент от производствения процес на полупроводници. Изработен е от графит с висока чистота с покритие от силициев карбид по CVD метод и е проектиран да побира множество пластини. Носачът предлага няколко предимства, включително подобрен добив, повишена производителност, намалено замърсяване, повишена безопасност и рентабилност. Ако търсите надежден и висококачествен носител на полупроводникова пластина за MOCVD оборудване, нашият продукт е идеалното решение.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия полупроводников носител за пластини за MOCVD оборудване.
Параметри на полупроводников пластинчат носител за MOCVD оборудване
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt огъване, 1300 â) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD
- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на окисление при висока температура: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси