MOCVD Planet Susceptor за полупроводници

Semicorex е надеждно име в индустрията на полупроводниците, предоставящо висококачествен MOCVD Planet Susceptor за полупроводници. Нашият продукт е проектиран да отговори на специфичните нужди на производителите на полупроводници, които търсят носител, който може да осигури отлична производителност, стабилност и издръжливост. Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия продукт и как можем да ви помогнем с вашите нужди за производство на полупроводници.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Нашият MOCVD Planet Susceptor за полупроводници се отличава с устойчивост на окисление при висока температура, гарантираща неговата стабилност при високи температури до 1600°C. Освен това е много чист, направен чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране, осигурявайки еднородност и консистенция на продукта, равномерен термичен профил и модел на ламинарен газов поток.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия MOCVD Planet Susceptor за полупроводници.

Параметри на MOCVD Planet Susceptor за полупроводници

Основни спецификации на CVD-SIC покритие
SiC-CVD свойства
Кристална структура	FCC β фаза
Плътност	g/cm³	3.21
Твърдост	Твърдост по Викерс	2500
Размер на зърното	μm	2~10
Химическа чистота	%	99.99995
Топлинен капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимация	℃	2700
Felexural Сила	MPa (RT 4 точки)	415
Модулът на Йънг	Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)	430
Термично разширение (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлопроводимост	(W/mK)	300

Характеристики на SiC покрит графитен ток за MOCVD

- Избягвайте отлепването и осигурете покритие върху цялата повърхност
Устойчивост на високотемпературно окисляване: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направено чрез CVD химическо отлагане на пари при условия на високотемпературно хлориране.
Устойчивост на корозия: висока твърдост, плътна повърхност и фини частици.
Устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
- Постигане на най-добрия модел на ламинарен газов поток
- Гарантирана равномерност на термичния профил
- Предотвратете всякакво замърсяване или дифузия на примеси