Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD).
Танталовият карбид (TaC) е съединение, което се състои от тантал и въглерод. Има метална електрическа проводимост и изключително висока точка на топене, което го прави огнеупорен керамичен материал, известен със своята здравина, твърдост и устойчивост на топлина и износване. Точката на топене на танталовите карбиди достига максимум при около 3880°C в зависимост от чистотата и има една от най-високите точки на топене сред бинарните съединения. Това го прави привлекателна алтернатива, когато изискванията за по-висока температура надхвърлят възможностите за производителност, използвани в епитаксиални процеси на съставни полупроводници като MOCVD и LPE.
Данни за материала на Semicorex TaC Coating
проекти |
Параметри |
Плътност |
14,3 (gm/cm³) |
Коефициент на излъчване |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Твърдост (HK) |
2000 |
Съпротивление (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Термична стабилност |
<2500 ℃ |
Промяна на размерите на графит |
-10~-20um (референтна стойност) |
Дебелина на покритието |
≥20um типична стойност (35um±10um) |
|
|
Горните са типични стойности |
|
Уплътнителен пръстен с покритие от Semicorex TaC, приложен към уплътнителните компоненти, осигурява изключителни предимства в производителността в взискателните среди на производството на полупроводници. TaC покритието се справя с критични предизвикателства, свързани с химическа устойчивост, екстремни температури и механично износване, позволявайки по-високи добиви на процеса, увеличено време за работа на оборудването и в крайна сметка по-ниски производствени разходи. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителни уплътнителни пръстени с покритие от TaC, които съчетават качество с рентабилност.**
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor е критичен компонент, играещ основна роля в процесите на отлагане, които са от съществено значение за създаването на полупроводникови пластини. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронник Semicorex Tantalum Carbide е усъвършенстван компонент, използван в оборудването за производство на полупроводници, известен със своите изключителни термични и механични свойства. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex TaC Coated Ring е критичен компонент, който отговаря на тези взискателни изисквания. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеДуш глава с покритие Semicorex TaC е неразделна част от процеса на химическо отлагане на пари, осигурявайки несравнима производителност и дълготрайност. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитванеПатронникът с покритие Semicorex TaC представлява значителен напредък в областта на производството на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай*.
Прочетете ощеИзпратете запитване