Патронник за пластини с покритие TaC

Wafer Chuck с покритие Semicorex TaC е направен с покритие от танталов карбид (TaC), нанесено върху графитен субстрат. Внимателният подбор на материали и прецизното инженерство подчертават значението на този продукт в индустрията.

Основното предимство на използването на TaC покритие върху графит се крие в свойствата на термично разширение на тези материали. Коефициентът на топлинно разширение (CTE) измерва колко се разширява даден материал при нагряване. При производството на полупроводници е от решаващо значение КТР на покритието да съответства точно на този на субстрата. Значително несъответствие може да доведе до напрежения и евентуална повреда на покритието. Чрез избора на графитен материал, чийто CTE е много близък до този на TaC, ние гарантираме, че TaC покритието прилепва силно към графитния субстрат. Тази съвместимост намалява риска от разслояване и удължава експлоатационния живот на TaC Coating Wafer Chuck.

Покритието TaC повишава твърдостта и устойчивостта на износване на патронника за пластини с покритие TaC, което е от решаващо значение за поддържане на прецизна и стабилна работа по време на повтарящи се цикли на процеса на епитаксия. Високата точка на топене на TaC гарантира, че TaC Coating Wafer Chuck може да издържи на екстремните температури, срещани по време на производството на полупроводници, без да се разгражда. В допълнение, химическата инертност на TaC защитава основния графит от корозивни газове и други реактивни вещества, използвани в процеса на епитаксия.

На практика тези свойства на материала водят до значителни подобрения на производителността. Подобрената издръжливост и стабилност на патронника за пластини с покритие TaC изискват по-малко смени, намалявайки времето за престой и разходите за поддръжка. Високата термична стабилност осигурява постоянна производителност, дори при най-взискателните условия, допринасяйки за по-високи нива на добив при производството на полупроводници.

Вафленият патронник Semicorex TaC Coating демонстрира усъвършенствано инженерство на материалите и обмислен дизайн. Чрез комбиниране на свойствата на танталов карбид и графит, ние разработихме продукт, който отговаря на строгите изисквания на процесите на епитаксия на полупроводници. Неговата изключителна издръжливост, термична стабилност и химическа устойчивост го правят незаменим компонент в индустрията за производство на полупроводници. Този иновативен подход не само подобрява производителността и надеждността, но също така допринася за по-устойчиви и рентабилни производствени операции. Тъй като индустрията на полупроводниците продължава да се развива, патронникът за пластини с покритие TaC е готов да посрещне предизвикателствата на технологиите от следващо поколение.